宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种蒸镀方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119571262B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411772007.5,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种蒸镀方法是由姚力军;吕燕妮;边逸军;钟伟华设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蒸镀方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种蒸镀方法,所述蒸镀方法包括以下步骤:1对顶部设置有凹槽的锭状初始蒸发料进行一步蒸镀处理;2将颗粒状蒸发料置于一步蒸镀处理后得到的锭状蒸发料的凹槽内进行二步蒸镀处理直至完成蒸镀。本发明所述蒸镀方法通过在锭状蒸发料的顶部挖槽,有效地减少蒸镀过程发生溅源的概率,显著提高薄膜产品的质量和均匀性。
本发明授权一种蒸镀方法在权利要求书中公布了:1.一种蒸镀方法,其特征在于,所述蒸镀方法包括以下步骤: (1)对顶部设置有凹槽的锭状初始蒸发料进行一步蒸镀处理; (2)将颗粒状蒸发料置于一步蒸镀处理后得到的锭状蒸发料的凹槽内进行二步蒸镀处理直至完成蒸镀; 所述凹槽呈倒梯形,以所述锭状初始蒸发料的顶部宽度为100%计,所述凹槽的开口宽度为80~95%,所述凹槽的底部宽度所述锭状初始蒸发料的底部宽度,所述颗粒状蒸发料置于凹槽内后的高度为a,一步蒸镀处理后得到锭状蒸发料的凹槽深度为b,所述颗粒状蒸发料的高度a为6mm,凹槽的深度b为5mm,a-b=1mm。
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