厦门高光半导体材料有限公司樊春雷获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门高光半导体材料有限公司申请的专利曝光工件的夹持装置及曝光设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223362490U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422971503.5,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型曝光工件的夹持装置及曝光设备是由樊春雷;王广成;甘帅燕;钱超设计研发完成,并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光工件的夹持装置及曝光设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种曝光工件的夹持装置及曝光设备。其中的夹持装置包括夹持部件、第一抬升部件、第二抬升部件和铰接部件;夹持部件具有下夹板组件和上夹板组件,上夹板组件设置于下夹板组件的上方;第一抬升部件与上夹板组件的其中一侧连接,第二抬升部件与上夹板组件的另一侧连接,第一、第二抬升部件分别能够驱动上夹板组件的相应一侧抬升或下降;铰接部件包括销轴、铰接座和第三驱动件,销轴安装于铰接座中,上夹板组件的其中一侧与销轴连接,能够以销轴为转动枢纽进行转动,第三驱动件与销轴的其中一端连接,能够带动销轴脱离和恢复与铰接座、上夹板组件的连接。本申请中的夹持装置能够以不同方式打开,适用于不同应用场景,有助于提高操作效率。
本实用新型曝光工件的夹持装置及曝光设备在权利要求书中公布了:1.一种曝光工件的夹持装置,其特征在于,包括: 夹持部件,其具有下夹板组件和上夹板组件,上夹板组件设置于下夹板组件的上方;以及 第一抬升部件和第二抬升部件,其中, 第一抬升部件与上夹板组件的其中一侧连接,能够驱动上夹板组件的相应一侧抬升或下降, 第二抬升部件与上夹板组件的另一侧连接,能够驱动所述上夹板组件的另一侧抬升或下降;以及 铰接部件,其包括销轴、铰接座和第三驱动件, 销轴安装于铰接座中, 所述的上夹板组件的其中一侧与销轴连接,能够以销轴为转动枢纽进行转动, 第三驱动件与销轴的其中一端连接,能够带动销轴脱离与铰接座、上夹板组件的连接,且能够带动销轴复位,恢复销轴与铰接座、上夹板组件的连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门高光半导体材料有限公司,其通讯地址为:361101 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔星路100号恒业楼208-28室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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