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龙图腾网获悉有研工程技术研究院有限公司申请的专利一种大功率电子束镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119433463B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411736660.6，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种大功率电子束镀膜设备是由王征;李勍;陈俊;朱宝宏;邱昊辰设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大功率电子束镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明属于电子束蒸发镀装置技术领域，具体涉及一种大功率电子束镀膜设备，本装置的蒸发炉本体的炉壁为双层结构，将加强筋设置在炉壁和水套盖板之间，可以使得蒸发炉本体的外壳平整、美观，加强筋的设置既满足了腔室的强度要求，同时又能将第一冷却腔隔成多条流道，对冷却水循环起到了导向作用。将水冷坩埚系统的水冷套设置为内部连通的中空冷却腔体结构，多个坩埚共用一个水冷套，解决了原来两个坩埚分别冷却而带来的制造及安装复杂、维护保养不便等问题。将坩埚与水冷套之间的连接改为下端螺栓连接，使得坩埚上表面平整，电子束扫描更安全。

本发明授权一种大功率电子束镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种大功率电子束镀膜设备，其特征在于，包括安装基体、蒸发炉系统、水冷坩埚系统、电子枪系统、送料系统、抽真空系统、控制系统、供电系统、以及电控系统； 所述蒸发炉系统包括蒸发炉本体和移动炉门系统， 所述蒸发炉本体为一侧开口且设置于所述安装基体上的炉体，所述蒸发炉本体上设置有电子枪系统接口、工件送料接口、真空接口；蒸发炉本体的炉壁为双层结构，包括第一内壁、第一外壁和设置于所述第一内壁和第一外壁之间的多个第一加强筋板，所述第一内壁与第一外壁之间形成第一冷却腔，所述多个第一加强筋板将所述第一冷却腔隔成多条相互连通的冷却流道，所述第一外壁上设置有至少一个第一冷却水入口和至少一个第一冷却水出口； 所述移动炉门系统包括炉门本体、滑轨、驱动电机轮组，所述滑轨设置于所述安装基体上、且位于所述蒸发炉本体开口侧，所述滑轨的一端位于所述蒸发炉本体开口侧的下方、另一端向远离蒸发炉本体的方向延伸；所述炉门本体覆盖设置于所述蒸发炉本体的开口侧、且垂直设置于所述滑轨上并与滑轨通过驱动电机轮组滑动连接；所述炉门本体朝向蒸发炉本体开口侧的一侧设置有坩埚架； 所述水冷坩埚系统设置于所述坩埚架上；所述水冷坩埚系统包括水冷套、至少一个坩埚和多个连接螺栓；所述水冷套上设置有至少一个上下贯通的坩埚容纳孔，所述坩埚设置于所述坩埚容纳孔内；所述坩埚容纳孔上开口的外周固定设置有安装环，所述安装环上设置有第一安装孔；所述坩埚的边缘设置于所述安装环的上方，所述坩埚边缘下表面与所述第一安装孔对应的位置设置有第二安装孔，所述第二安装孔为非贯穿孔；所述连接螺栓的一端从下向上穿过所述第一安装孔设置于所述第二安装孔内； 所述电子枪系统与所述蒸发炉本体的电子枪系统接口连接，所述电子枪系统还与所述电控系统连接； 所述送料系统与所述蒸发炉本体的工件送料接口连接； 所述抽真空系统与所述蒸发炉本体的真空接口连接； 所述控制系统分别与所述供电系统、驱动电机轮组、电子枪系统、送料系统、抽真空系统连接； 所述供电系统还分别与驱动电机轮组、送料系统、抽真空系统连接。

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