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龙图腾网获悉洛阳船舶材料研究所(中国船舶集团有限公司第七二五研究所)申请的专利一种钛合金表面低温渗镀一体化复合硬化绝缘处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119710574B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411710508.0，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种钛合金表面低温渗镀一体化复合硬化绝缘处理方法是由刘瑶瑶;赵延飞;李龙博;谢述锋设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钛合金表面低温渗镀一体化复合硬化绝缘处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种钛合金表面低温渗镀一体化复合硬化绝缘处理方法，包括如下步骤：步骤一，酸洗及刻蚀；步骤二，将酸洗及干燥后的钛合金试样放入渗镀一体化复合处理设备，所述渗镀一体化复合处理设备配备高能脉冲等离子体电源和HIPIMS电源；步骤三，千伏级偏压溅射，预注氮离子或氧离子；步骤四，高功率脉冲离子渗氮或渗氧处理；步骤五，溅射生成TiWN基打底层：开启钛靶和钨靶，钛靶和钨靶由直流阴极控制，通过调控Ti和W的比例，制备梯度多元TiWN涂层；步骤六，溅射生成TiWCN基面层。将钛合金试样基体渗氮或渗氧强化以及高硬绝缘镀层沉积操作在渗镀一体化复合处理设备中完成，能够实现渗镀复合一体、高效化处理。且渗氮或渗氧处理在较低温度下进行，钛合金基体几乎无变形产生。

本发明授权一种钛合金表面低温渗镀一体化复合硬化绝缘处理方法在权利要求书中公布了：1.一种钛合金表面低温渗镀一体化复合硬化绝缘处理方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤一，酸洗及刻蚀； 步骤二，将酸洗及干燥后的钛合金试样放入渗镀一体化复合处理设备，所述渗镀一体化复合处理设备配备高能脉冲等离子体电源和HIPIMS电源； 步骤三，千伏级偏压溅射，预注氮离子或氧离子：开启高能脉冲等离子体电源，偏压峰值调控在3000-6000V进行溅射，气体压强设置为0.3-0.5Pa，溅射时长为30-45min；提升钛合金试样基体反应活性后，通入0.1-0.3m3h的氮气或氧气，并调整温度至350-400℃，处理时长1-1.5h，进行N或O离子的预注入； 步骤四，高功率脉冲离子渗氮或渗氧处理：开启HIPIMS电源，工作气体调整为氮气或氧气，以及氢气，偏压8-15kV，真空度10Pa以下，氮气或氧气流量为0.2-0.5m3h，氢气流量为0.1-0.2m3h，温度为350-480℃，处理5-8h，形成渗氮层或渗氧层； 步骤五，溅射生成TiWN基打底层：开启钛靶和钨靶，钛靶和钨靶由直流阴极控制，通过调控Ti和W的比例，制备梯度多元TiWN涂层；包括两个阶段，第一阶段：工作气体为氩气及氮气，同时控制钛靶和钨靶溅射参数，使钛靶和钨靶组分的比例为1:3，HIPIMS电源脉冲高压为20-25kv，脉冲宽度20-30μs，脉冲频率100-150Hz，工作气压氩气0.2-0.4Pa，氩气分压0.10-0.20Pa，第二阶段为再次调控共溅射过程中钛靶和钨靶的溅射参数，使钛靶和钨靶组分的比例逐步降低至1:1，最终通过反应溅射生成梯度过渡TiWN基打底层； 步骤六，溅射生成TiWCN基面层：同时开启钛靶、碳化钨靶和石墨靶，工作气体为氩气和氮气，基体施加脉冲偏压15-20kv，脉冲宽度20-40μs，脉冲频率100-200Hz，工作气压0.4-0.8Pa，氩气流量30-50sccm，氮气流量5-10sccm，调控Ti和WC组分的比例，由1:1逐步增加至1:3-1:4，沉积时间3-4.5h。

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