天津中科晶禾电子科技有限责任公司宋伟健获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利气动升降机构、反应腔室及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223359581U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422902357.0,技术领域涉及:F15B20/00;该实用新型气动升降机构、反应腔室及半导体设备是由宋伟健;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本气动升降机构、反应腔室及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于升降设备技术领域,公开了一种气动升降机构、反应腔室及半导体设备,该气动升降机构包括底座、升降气缸、支撑框体、铰链架和防坠落气缸,升降气缸固定安装于底座,升降气缸的输出杆的端部设置有支撑件;支撑框体间隔围设于输出杆外且与升降气缸的座体固定连接,支撑框体设置有供输出杆伸出的通道;铰链架铰接于支撑框体,铰链架上固定设置有保险杆,支撑框体上设置有供保险杆穿过的导通孔;防坠落气缸固定安装于底座,防坠落气缸的输出端与铰链架转动连接,防坠落气缸能驱动铰链架绕支撑框体转动,使得保险杆探至支撑件的下方且抵至输出杆上。上述气动升降机构,能有效降低因升降气缸坠落引发危险的概率,使整体设备安全可靠。
本实用新型气动升降机构、反应腔室及半导体设备在权利要求书中公布了:1.气动升降机构,其特征在于,包括: 底座100; 升降气缸200,固定安装于所述底座100,所述升降气缸200的输出杆的端部设置有支撑件; 支撑框体800,间隔围设于所述输出杆的外侧,所述支撑框体800与所述升降气缸200的座体固定连接,所述支撑框体800设置有供所述输出杆伸出的通道; 铰链架,铰接于所述支撑框体800,所述铰链架上固定设置有保险杆500,所述支撑框体800上设置有供所述保险杆500穿过的导通孔; 防坠落气缸700,固定安装于所述底座100,所述防坠落气缸700的输出端与所述铰链架转动连接,所述防坠落气缸700能驱动所述铰链架绕所述支撑框体800转动,使得所述保险杆500探至所述支撑件的下方且抵至所述输出杆上。
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