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江苏大摩半导体科技有限公司戴锦新获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏大摩半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆表面色差检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223361593U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422800909.7,技术领域涉及:G01J3/46;该实用新型一种晶圆表面色差检测装置是由戴锦新;张虎近设计研发完成,并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆表面色差检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及色差检测技术领域,具体涉及一种晶圆表面色差检测装置,包括底座和安装架;所述安装架的下端与底座的上端固定连接,所述安装架的内壁固定连接有安装块,所述安装架的内壁固定连接有定位夹,所述安装块的一侧开设有滑动槽,所述滑动槽的内壁固定连接有多个固定板,所述固定板之间的距离是定制的,所述固定板之间插接有连接条。通过设置有定位夹和限位夹,将晶圆的一侧贴合定位夹,然后将连接条上拉,然后将连接条在滑动槽内滑动,从而带动限位夹移动,从而使得限位夹贴合晶圆的另一侧,从而将晶圆固定牢固,从而能够固定不同直径的晶圆,提高了晶圆产品色差检测的准确性,从而提高了对生产流程和产品质量的把控。

本实用新型一种晶圆表面色差检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆表面色差检测装置,其特征在于,包括: 底座100; 安装架200,所述安装架200的下端与底座100的上端固定连接,所述安装架200的内壁固定连接有安装块202,所述安装架200的内壁固定连接有定位夹201,所述安装块202的一侧开设有滑动槽203,所述滑动槽203的内壁固定连接有多个固定板204,所述固定板204之间的距离是定制的,所述固定板204之间插接有连接条205,所述连接条205的一侧固定连接有限位夹206。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏大摩半导体科技有限公司,其通讯地址为:211899 江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦2804室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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