江苏润玺环保设备有限公司王小祥获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏润玺环保设备有限公司申请的专利一种半导体清洗设备中的喷淋装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223363116U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422752890.3,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种半导体清洗设备中的喷淋装置是由王小祥;高胜设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗设备中的喷淋装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及喷淋清洗技术领域,公开了一种半导体清洗设备中的喷淋装置,包括壳体,所述壳体的顶部固定连接有电机二,所述电机二的输出端固定连接有半齿轮,所述壳体的内壁固定连接有固定杆,所述固定杆的底部开设有滑轨,所述滑轨的外壁滑动连接有带齿环,所述带齿环的外壁与半齿轮的外壁啮齿连接,所述固定杆的顶部前后侧均固定连接有水箱,两个所述水箱的相邻之间固定连接有水泵,所述水泵的底部固定连接有伸缩管。本实用新型中,可移动的喷淋装置确保清洗液能均匀地覆盖整个表面,尤其是在复杂形状或较大面积的晶圆上,有助于去除不同部位的污染物,避免因喷淋不均匀而留下残留物和局部污染。
本实用新型一种半导体清洗设备中的喷淋装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体清洗设备中的喷淋装置,包括壳体1,其特征在于:所述壳体1的顶部固定连接有电机二3,所述电机二3的输出端固定连接有半齿轮4,所述壳体1的内壁固定连接有固定杆5,所述固定杆5的底部开设有滑轨6,所述滑轨6的外壁滑动连接有带齿环7,所述带齿环7的外壁与半齿轮4的外壁啮齿连接,所述固定杆5的顶部前后侧均固定连接有水箱8,两个所述水箱8的相邻之间固定连接有水泵9,所述水泵9的底部固定连接有伸缩管10,所述伸缩管10的另一端固定连接有输水管11,所述输水管11的底部固定连接有出水管12,所述出水管12的底部均匀连接有加压喷嘴13,所述壳体1的内壁设置有固定机构2,所述固定机构2是用于固定半导体。
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