深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司伏鹏锦获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利物料通入装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223363117U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422760069.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型物料通入装置是由伏鹏锦;魏巍;郭淼设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本物料通入装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种物料通入装置，该物料通入装置包括：储罐，用于储存液态物料，并用于通过储罐的进气端口向液态物料中通入载气以产生液滴状物料，载气携带的液滴状物料通过储罐的出气端口排出；破碎装置，位于储罐与反应腔室之间；破碎装置包括管体、位于管体中且沿管体延伸方向上设置的破碎部件；破碎部件用于破碎通入破碎装置的进气端口的载气携带的液滴状物料，经破碎后的载气携带的液滴状物料通过破碎装置的出气端口排出。
本实用新型物料通入装置在权利要求书中公布了：1.一种物料通入装置，其特征在于，包括： 储罐，用于储存液态物料，并用于通过所述储罐的进气端口向所述液态物料中通入载气以产生液滴状物料，所述载气携带的所述液滴状物料通过所述储罐的出气端口排出； 破碎装置，位于所述储罐与反应腔室之间；所述破碎装置包括管体、位于所述管体中且沿所述管体延伸方向上设置的破碎部件；所述破碎部件用于破碎通入所述破碎装置的进气端口的所述载气携带的所述液滴状物料，经破碎后的所述载气携带的所述液滴状物料通过所述破碎装置的出气端口排出。
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