米心半导体(江苏)有限公司余春朝获国家专利权
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龙图腾网获悉米心半导体(江苏)有限公司申请的专利一种具有防脱结构的垂直探针卡获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223362237U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422505673.4,技术领域涉及:G01R1/067;该实用新型一种具有防脱结构的垂直探针卡是由余春朝设计研发完成,并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有防脱结构的垂直探针卡在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种具有防脱结构的垂直探针卡,涉及探针卡技术领域,包括与安装座配合连接的安装体,所述安装座与安装体之间配合设置有固定组件,该装置还包括用于对半导体晶圆进行测试的探针卡机构,所述安装体内部开设有移动腔,所述探针卡机构包括滑动配合在移动腔内部的固定片,所述固定片底面固定连接有检测针头,所述移动腔下端开设有与检测针头滑动配合的贯穿孔,所述检测针头通过贯穿孔延伸至安装体下方。本实用新型在使用时,检测针头在重力作用下与晶圆接触,从而最大程度的减少晶圆对检测针头自身的磨损,且整个过程中未设置有弹性组件,不会出现弹性疲劳,从而提高该装置的使用寿命。
本实用新型一种具有防脱结构的垂直探针卡在权利要求书中公布了:1.一种具有防脱结构的垂直探针卡,包括与安装座1配合连接的安装体4,所述安装座1与安装体4之间配合设置有固定组件,其特征在于,还包括: 用于对半导体晶圆进行测试的探针卡机构2,所述安装体4内部开设有移动腔9,所述探针卡机构2包括滑动配合在移动腔9内部的固定片201,所述固定片201底面固定连接有检测针头202,所述移动腔9下端开设有与检测针头202滑动配合的贯穿孔11,所述检测针头202通过贯穿孔11延伸至安装体4下方,所述移动腔9底部设置有用于检测固定片201位置的监控组件。
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