重庆万国半导体科技有限公司徐廷获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆万国半导体科技有限公司申请的专利离子束流控制装置及离子注入设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223363104U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422443833.7，技术领域涉及：H01J37/317；该实用新型离子束流控制装置及离子注入设备是由徐廷设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子束流控制装置及离子注入设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种离子束流控制装置及离子注入设备，所述离子束流控制装置包括晶圆扫描机构的电机放大器以及用于控制离子注入设备的高压电源的高压互锁单元；还包括控制单元，所述控制单元的输入端与所述电机放大器的使能信号输出端电连接，所述晶圆扫描机构正常工作时电机放大器的使能信号有效，所述晶圆扫描机构发生异常掉电时电机放大器的使能信号无效；所述控制单元的第一控制端连接供电电压，第二控制端与所述高压互锁单元的供电输入端电连接，所述控制单元用于在电机放大器的使能信号无效时断开供电电压与高压互锁单元之间的连接。本实用新型能够在晶圆扫描机构异常掉时快速关停离子束流，提高了生产效率、降低了成本。
本实用新型离子束流控制装置及离子注入设备在权利要求书中公布了：1.一种离子束流控制装置，包括晶圆扫描机构的电机放大器以及用于控制离子注入设备的高压电源的高压互锁单元，所述高压互锁单元接通供电时接入高压电源使离子注入设备产生离子束流，所述高压互锁单元断开供电时断开高压电源使离子注入设备关停离子束流；其特征在于：还包括控制单元，所述控制单元的输入端与所述电机放大器的使能信号输出端电连接，所述晶圆扫描机构正常工作时电机放大器的使能信号有效，所述晶圆扫描机构发生异常掉电时电机放大器的使能信号无效；所述控制单元的第一控制端连接供电电压，第二控制端与所述高压互锁单元的供电输入端电连接，所述控制单元用于在电机放大器的使能信号无效时断开供电电压与高压互锁单元之间的连接。
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