华中科技大学陈蓉获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利前驱体脉冲时间测量系统及其测量方法、测量装置和原子层沉积系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118858810B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410951710.6，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权前驱体脉冲时间测量系统及其测量方法、测量装置和原子层沉积系统是由陈蓉;苏宇;刘潇;单斌设计研发完成，并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本前驱体脉冲时间测量系统及其测量方法、测量装置和原子层沉积系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种前驱体脉冲时间测量系统及其测量方法、测量装置和原子层沉积系统。该测量系统应用于原子层沉积系统，原子层沉积系统包括依次连通的储气罐、电磁阀和自动泄漏减压阀，测量系统包括：压力传感器和示波器；其中，压力传感器用于检测电磁阀的压力；示波器的输入端与压力传感器的输出端连接，用于输出表征电磁阀的压力的电压波形；其中，前驱体脉冲时间为两个相邻的第一时间节点和第二时间节点之间的差值，第一时间节点为电压波形的幅值上升至第一预设阈值时对应的时间数据；第二时间节点为电压波形的幅值下降至第二预设阈值时对应的时间数据，第一预设阈值大于第二预设阈值。采用该测量系统能够准确测量前驱体脉冲时间。
本发明授权前驱体脉冲时间测量系统及其测量方法、测量装置和原子层沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种前驱体脉冲时间测量系统，其特征在于，应用于原子层沉积系统，所述原子层沉积系统包括依次连通的储气罐、电磁阀和自动泄漏减压阀，所述测量系统包括：压力传感器和示波器； 其中，所述压力传感器用于检测所述电磁阀的压力； 所述示波器的输入端与所述压力传感器的输出端连接，用于输出表征所述电磁阀的压力的电压波形； 其中，所述前驱体脉冲时间为两个相邻的第一时间节点和第二时间节点之间的差值，所述第一时间节点为所述电压波形的幅值上升至第一预设阈值时对应的时间数据；所述第二时间节点为所述电压波形的幅值下降至第二预设阈值时对应的时间数据，所述第一预设阈值大于所述第二预设阈值； 其中，所述系统还包括： 控制终端，所述控制终端与所述示波器的输出端连接，所述控制终端用于获取所述电压波形，并根据所述电压波形，确定所述第一时间节点和所述第二时间节点，并根据两个相邻的所述第一时间节点和所述第二时间节点之间的差值，确定所述前驱体脉冲时间。
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