芯恩(青岛)集成电路有限公司王通获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种膜厚测试结构及实时监测量测过程中光斑位置的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119354032B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410491346.X，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种膜厚测试结构及实时监测量测过程中光斑位置的方法是由王通;王杰设计研发完成，并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种膜厚测试结构及实时监测量测过程中光斑位置的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种膜厚测试结构及实时监测量测过程中光斑位置的方法，该膜厚测试结构包括沿X方向依次且间隔设置的多个测量块，每一测量块对应配置有一对编号字符，一对编号字符具有位于一矩形的四个顶点处的四个对称特征点，矩形的两条对角线交点作为测量块的中心点。在实际膜厚量测过程中，将光斑投射至测量块，选取测量块对应的一对编号字符的四个对称特征点的位置进行抓取定位并记录其位置坐标，同时实时记录光斑的位置坐标，之后根据记录的四个对称特征点的位置坐标计算测量块的中心点位置坐标，并计算光斑位置相对于测量块中心点位置的偏移量。本发明能够实现实时监控线上光斑实际量测位置，从而有利于及时调整光斑位置，得到准确的量测结果。
本发明授权一种膜厚测试结构及实时监测量测过程中光斑位置的方法在权利要求书中公布了：1.一种实时监测量测过程中光斑位置的方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供一晶圆，所述晶圆包括膜厚测量区域，所述膜厚测量区域设有沿X方向依次且间隔设置的多个测量块，每一所述测量块对应配置有一对编号字符； 将光斑投射至所述测量块，选取所述测量块对应的一对编号字符的四个对称特征点作为矩形的四个顶点，对四个所述对称特征点的位置进行抓取定位，并记录四个所述对称特征点在预设坐标系中的位置坐标，同时实时记录光斑在所述预设坐标系中的位置坐标； 将所述矩形的两条对角线交点作为所述测量块的中心点，根据记录的四个所述对称特征点的位置坐标计算所述测量块的中心点位置坐标； 根据记录的光斑位置坐标与计算所得的所述测量块的中心点位置坐标计算光斑位置相对于测量块中心点位置的偏移量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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