苏州天准科技股份有限公司温延培获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉苏州天准科技股份有限公司申请的专利一种曝光标定板和曝光机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118276424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410359594.9,技术领域涉及:G03F9/00;该发明授权一种曝光标定板和曝光机是由温延培;谷孝东;包哲人;祝锁;魏亚菲设计研发完成,并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光标定板和曝光机在说明书摘要公布了:本发明提供了一种曝光标定板和曝光机,属于标定领域,一种曝光标定板,包括左侧的标定mark部和右侧的透明曝光mark部,标定mark部包括第一空白缓冲区、标定组合mark区和第二空白缓冲区,透明曝光mark部包括板边区、曝光mark预留区和第三空白缓冲区;在标定组合mark区加工第一组合图形作为标定组合mark,在曝光mark预留区设有第二组合图形作为曝光mark,第二组合图形与第一组合图形不同。本申请的标定板设置标定mark部和透明曝光mark部,替代了传统的BLED打点对准,提高了标定精度,尤其适应于内层的精确对准,便于在PCB、晶圆等需要对准如overlay的半导体检测或加工领域推广应用。
本发明授权一种曝光标定板和曝光机在权利要求书中公布了:1.一种曝光标定板,其特征在于:所述曝光标定板整体呈长方形并包括左侧的标定mark部和右侧的透明曝光mark部,所述标定mark部包括第一空白缓冲区、标定组合mark区和第二空白缓冲区,所述透明曝光mark部包括板边区、曝光mark预留区和第三空白缓冲区;在所述标定组合mark区加工第一组合图形作为标定组合mark,在所述曝光mark预留区设有第二组合图形作为曝光mark,第二组合图形与第一组合图形不同。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州天准科技股份有限公司,其通讯地址为:215153 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。