中山大学何坚获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117558830B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311573855.9，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法是由何坚;蔡海怀;曹沛邦;高平奇;谢安治设计研发完成，并于2023-11-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：将制绒后的晶体硅衬底片进行标准RCA清洗；将清洗后的衬底片用原子层沉积法沉积纯氧化铝薄膜；沉积固定循环数的纯氧化铝薄膜插入一步含氢气体的等离子体处理；固定数的纯氧化铝循环后插入一步氢化步骤统称为一个大循环，并以此大循环重复进行，实现氢化氧化铝的钝化薄膜沉积；沉积氢化氧化铝薄膜的衬底片进行退火处理，得到所述太阳能电池钝化薄膜。本发明中原位含氢气体等离子体处理实现了氢的有效掺杂，原位氢掺杂氧化铝薄膜提升薄膜场效应钝化效果，相比于纯氧化铝薄膜的钝化效果实现了显著提升。
本发明授权一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种太阳能电池钝化薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1将制绒后的晶体硅衬底片进行标准RCA清洗； 2将清洗后的衬底片用原子层沉积法沉积纯氧化铝薄膜；沉积固定循环数的纯氧化铝薄膜插入一步含氢气体的等离子体处理；固定数的纯氧化铝循环后插入一步氢化步骤统称为一个大循环，并以此大循环重复进行，实现氢化氧化铝的钝化薄膜沉积； 3沉积氢化氧化铝薄膜的衬底片进行退火处理，得到所述太阳能电池钝化薄膜。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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