宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种晶圆托盘机械加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117086334B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310860174.4，技术领域涉及：B23B1/00；该发明授权一种晶圆托盘机械加工方法是由姚力军;潘杰;王学泽;姜勇设计研发完成，并于2023-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆托盘机械加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及托盘加工技术领域，具体公开了一种晶圆托盘机械加工方法，包括以下步骤：对托盘原坯进行粗加工；通过压板和底板分别抵接晶圆托盘的两个侧端面，再对晶圆托盘的外环面进行轴对中打表找正，并对轴对中打表找正后的外环面进行车外圆精加工；对晶圆托盘的两个侧端面分别进行半精加工；对晶圆托盘的外环面进行切削形成凸起部和凹陷部，对晶圆托盘的内环面进行切削形成环形槽；对晶圆托盘的凸起部进行切削形成环形斜面。本发明在加工过程中，先确保晶圆托盘的圆度、平面度、同心度和平行度满足需求后，再对晶圆托盘进行其它加工，以此能够使得晶圆托盘在加工后符合图纸的尺寸需求，进而降低制造成本。
本发明授权一种晶圆托盘机械加工方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆托盘机械加工方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、对托盘原坯进行粗加工，以形成具有外环面11、内环面12和两个侧端面13的晶圆托盘1； S2、通过压板2和底板3分别抵接所述晶圆托盘1的两个所述侧端面13，以使所述压板2和所述底板3夹持固定所述晶圆托盘1，再对所述晶圆托盘1的所述外环面11进行轴对中打表找正，并对轴对中打表找正后的所述外环面11进行车外圆精加工； S3、对所述晶圆托盘1的两个所述侧端面13分别进行半精加工，以缩小两个所述侧端面13的平面度； S4、通过外夹夹具4夹持所述晶圆托盘1的所述外环面11和其中一个所述侧端面13，以对所述晶圆托盘1的所述外环面11进行切削形成凸起部111和凹陷部112，对所述晶圆托盘1的所述内环面12进行切削形成环形槽121； S5、通过内撑夹具5夹持所述晶圆托盘1的所述内环面12和另一个所述侧端面13，以对所述晶圆托盘1的凸起部111进行切削形成环形斜面1111。
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