拓荆科技股份有限公司李慧获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115223910B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210882507.9，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法是由李慧设计研发完成，并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法在说明书摘要公布了：本申请涉及具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法。在本申请的一个实施例中，一种具有晶圆校准功能的负载室包括：腔室本体；晶圆支撑装置，其位于所述腔室本体内，并用于支撑晶圆；以及晶圆定位装置，其位于所述腔室本体内，并用于对由所述晶圆支撑装置所支撑的晶圆进行定位。
本发明授权具有晶圆校准功能的负载室、半导体处理系统及对晶圆进行校准的方法在权利要求书中公布了：1.一种具有晶圆校准功能的负载室100，其包括： 腔室本体1； 晶圆支撑装置2，其位于所述腔室本体1内，并用于支撑晶圆；以及 晶圆定位装置3，其位于所述腔室本体1内，并用于对由所述晶圆支撑装置2所支撑的晶圆进行定位； 其中，所述晶圆定位装置3包括用于将晶圆夹持在所需位置的夹持装置；所述夹持装置包括至少一对挡块31，所述至少一对挡块31中的每对挡块31对称地设置于所述晶圆支撑装置2的相对的两侧；所述晶圆定位装置3还包括用于调节所述至少一对挡块31中的每对挡块31之间的距离的调节装置； 其中，所述晶圆支撑装置2包括固定盘，所述晶圆定位装置3设置在所述固定盘上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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