买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉英飞凌科技股份有限公司申请的专利用于静电MEMS反射镜的模式耦合检测和阻尼方法以及使用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114636987B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111531624.2，技术领域涉及：G01S7/481；该发明授权用于静电MEMS反射镜的模式耦合检测和阻尼方法以及使用是由D·布伦纳;S·G·阿尔伯特;F·M·达勒;G·希特;R·施罗德;柳汉雄设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于静电MEMS反射镜的模式耦合检测和阻尼方法以及使用在说明书摘要公布了：本公开的各实施例涉及用于静电MEMS反射镜的模式耦合检测和阻尼方法以及使用。一种扫描系统包括：微机电系统MEMS扫描结构，基于驱动信号配置有期望旋转运动模式；多个梳状驱动器，被配置为基于驱动信号根据期望旋转运动模式来驱动MEMS扫描结构，每个梳状驱动器包括转子梳状电极和定子梳状电极，转子梳状电极和定子梳状电极形成电容元件，电容元件的电容取决于MEMS扫描结构的偏转角；驱动器，被配置为生成至少一个驱动信号；感测电路，选择性地被耦合到多个梳状驱动器的至少一子集以从子集接收感测信号，其中每个感测信号代表对应梳状驱动器的电容；以及处理电路，被配置为基于感测信号来确定MEMS扫描结构在期望旋转运动模式下的扫描方向。

本发明授权用于静电MEMS反射镜的模式耦合检测和阻尼方法以及使用在权利要求书中公布了：1.一种扫描系统，包括： 微机电系统MEMS扫描结构，被配置为基于至少一个驱动信号以期望旋转运动模式围绕轴线旋转； 多个梳状驱动器，被配置为基于所述至少一个驱动信号根据所述期望旋转运动模式围绕所述轴线驱动所述MEMS扫描结构，其中每个梳状驱动器包括转子梳状电极和定子梳状电极，所述转子梳状电极和所述定子梳状电极形成电容元件，所述电容元件的电容取决于所述MEMS扫描结构的偏转角； 驱动器，被配置为生成所述至少一个驱动信号； 感测电路，选择性地被耦合到所述多个梳状驱动器的至少一子集以从所述子集接收感测信号，其中每个感测信号代表对应梳状驱动器的电容； 处理电路，被配置为： 基于所述感测信号来确定所述MEMS扫描结构在所述期望旋转运动模式下的寄生运动模式以及扫描方向；以及 系统控制器，被配置为： 在对阻尼所述寄生运动模式有效的定时处，使反作用力被施加到与所述寄生运动模式相对应的转子梳状电极或者与所述寄生运动模式相对应的定子梳状电极中的一个或多个梳状电极。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人英飞凌科技股份有限公司，其通讯地址为：德国诺伊比贝尔格；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。