中国科学院半导体研究所黄勇涛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利一种单片集成正方形-FP耦合腔激光器阵列及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116053929B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111267444.8，技术领域涉及：H01S5/12；该发明授权一种单片集成正方形-FP耦合腔激光器阵列及制备方法是由黄勇涛;张振宁;李建成;肖金龙;杨跃德;黄永箴设计研发完成，并于2021-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单片集成正方形-FP耦合腔激光器阵列及制备方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种单片集成正方形‑FP耦合腔激光器阵列，包括：激光器阵列，其中每个激光器包括一个正方形回音壁微腔角向连接一个FP腔的第一端，每个正方形回音壁微腔的尺寸不同，每个FP腔的尺寸相同；多模干涉耦合器用于将激光器阵列的激光进行合波后输出；弯曲波导，其一端分别与FP腔的第二端连接，其另一端与多模干涉耦合器连接。本公开还提供一种单片集成正方形‑FP耦合腔激光器阵列的制备方法。本公开的半导体激光器波长调谐范围大、制备工艺简单，无需精准光刻及二次外延技术，且制作的成品率高、成本低，在光通信方面具有重要应用。
本发明授权一种单片集成正方形-FP耦合腔激光器阵列及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种单片集成正方形-FP耦合腔激光器阵列，其特征在于，包括： 激光器阵列，其中每个激光器包括一个正方形回音壁微腔角向连接一个FP腔的第一端，每个所述正方形回音壁微腔的尺寸不同，每个所述FP腔的尺寸相同，通过控制正方形回音壁微腔的尺寸改变基模模式的光程，实现激射波长等间隔移动以及激光器阵列的波长等间隔调谐，正方形回音壁微腔和FP腔之间设置电隔离槽，在正方形回音壁微腔和FP腔之间分开进行电注入； 多模干涉耦合器用于将激光器阵列的激光进行合波后输出； 弯曲波导，其一端分别与所述FP腔的第二端连接，其另一端与所述多模干涉耦合器连接；所述弯曲波导与所述FP腔的连接处设有空隙，所述空隙的长度为1~1.5μm，所述空隙的宽度与所述FP腔的宽度相同。
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