布鲁克斯自动化公司R·索诺加托夫获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉布鲁克斯自动化公司申请的专利装载端口模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113330547B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980090640.7，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权装载端口模块是由R·索诺加托夫;R·卡尔森;M·克罗拉克设计研发完成，并于2019-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本装载端口模块在说明书摘要公布了：一种衬底装载装置包括：框架，其适于连接到衬底处理设备，该框架具有运输开口，衬底通过该运输开口被运输到处理设备；盒支撑件，其连接到框架以用于将至少一个衬底盒容器保持靠近运输开口，该支撑件被构造成使得容器的密封的内部气氛在容器的预定的出入位置处从支撑件出入，并且该盒支撑件具有预定的连续稳态压差增压室区域，该预定的连续稳态压差增压室区域至少部分地由产生压差的流体流的边界确定，使得该预定的连续稳态压差增压室区域限定连续稳态流体流隔离屏障，该连续稳态流体流隔离屏障在容器的预定的出入位置和支撑件的将其他预定区域与预定的出入位置隔离的另一个预定区段之间设置在支撑件上。
本发明授权装载端口模块在权利要求书中公布了：1.一种衬底装载装置，其包括： 框架，其适于将所述衬底装载装置连接到衬底处理设备，所述框架具有运输开口，衬底通过所述运输开口在所述衬底装载装置和处理设备之间运输； 盒支撑件，其连接到所述框架以用于将至少一个衬底盒容器保持靠近所述运输开口，所述盒支撑件被构造成使得所述至少一个衬底盒容器的密封的内部气氛在所述至少一个衬底盒容器的预定的出入位置处从所述盒支撑件出入；并且 所述盒支撑件具有设置在所述盒支撑件上的预定的连续稳态压差增压室区域，所述预定的连续稳态压差增压室区域至少部分地由产生压差的流体流的边界确定，使得所述预定的连续稳态压差增压室区域限定连续稳态流体流隔离屏障，所述连续稳态流体流隔离屏障在所述至少一个衬底盒容器的所述预定的出入位置和所述盒支撑件的将其他预定区段与所述预定的出入位置隔离的另一个预定区段之间设置在所述盒支撑件上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人布鲁克斯自动化公司，其通讯地址为：美国马萨诸塞州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号