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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利激光退火装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113632203B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980094700.2，技术领域涉及：H01L21/268；该发明授权激光退火装置和电子器件的制造方法是由田中智史;铃木章义;星野秀往设计研发完成，并于2019-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光退火装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本公开的一个观点的激光退火装置构成为，对沿着被加工物的面内的第1方向和与第1方向垂直的第2方向中的至少第2方向排列的多个被加工区域统一照射激光，使统一照射区域和被加工物在第1方向上相对移动，进行扫描，该激光退火装置具有：能量密度计测装置，其计测统一照射区域的第2方向的第1端部和第2端部中的至少第2端部的能量密度；能量密度调整装置，其对第1端部的能量密度进行调整；以及控制器，其根据能量密度计测装置的计测结果对能量密度调整装置进行控制，对第N+1扫描时的第1端部的能量密度进行调整，以使与第N扫描区域的第2端部相邻的第N+1扫描区域的第1端部的能量密度接近所述第N扫描区域的所述第2端部的能量密度。

本发明授权激光退火装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种激光退火装置，其具有： 激光装置，其输出激光； 光学系统，其对沿着被加工物的面内的第1方向和与所述第1方向垂直的第2方向中的至少所述第2方向排列的多个被加工区域统一照射所述激光； 相对移动装置，其使统一照射区域和所述被加工物在所述第1方向和所述第2方向上相对移动，该统一照射区域具有与进行所述统一照射的所述多个被加工区域的排列对应的所述激光的多个照射区域的排列；以及 控制器，其对所述激光装置和所述相对移动装置进行控制，以使得将N设为1以上的整数，在第N扫描时，在所述被加工物的第N扫描区域中执行使所述统一照射区域和所述被加工物在所述第1方向上相对移动的扫描，对第N扫描区域的沿着所述第1方向和所述第2方向呈格子状排列的所述被加工区域分别照射所述激光，在所述第N扫描后，使所述统一照射区域和所述被加工物在所述第2方向上相对移动，将所述扫描的对象区域变更为第N+1扫描区域，在第N+1扫描时，在与所述被加工物的所述第N扫描区域相邻且与所述第N扫描区域不重叠的所述第N+1扫描区域中执行所述扫描， 其中，所述激光退火装置还具有： 能量密度计测装置，其计测被照射于所述统一照射区域的所述第2方向的两端部即第1端部和第2端部中的至少所述第2端部处的脉冲激光的能量密度；以及 能量密度调整装置，其对被照射于所述统一照射区域的所述第1端部和所述第2端部中的至少所述第1端部处的脉冲激光的能量密度进行调整， 所述控制器根据所述能量密度计测装置的计测结果对所述能量密度调整装置进行控制，对执行所述第N+1扫描时的所述第1端部的能量密度进行调整，以使被照射于与所述第N扫描区域中的所述第2端部相邻的所述第N+1扫描区域中的所述第1端部处的脉冲激光的能量密度接近被照射于所述第N扫描区域中的所述第2端部处的脉冲激光的能量密度。

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