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龙图腾网获悉江苏中科智芯集成科技有限公司;智芯集成电路(徐州)有限公司申请的专利应用于超薄晶圆划片胶丝改良的工艺参数确定方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120524828B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511014080.0，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权应用于超薄晶圆划片胶丝改良的工艺参数确定方法及系统是由黄涛;熊伟;杨梦茹设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本应用于超薄晶圆划片胶丝改良的工艺参数确定方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工生产技术领域，尤其涉及一种应用于超薄晶圆划片胶丝改良的工艺参数确定方法及系统，包括：对待划片作业的超薄晶圆进行特性分析，获得晶圆特性数据；将晶圆特性数据输入至晶圆划片分析模型中，获得至少两个划片阶段；针对每个划片阶段，将其对应的目标需求以及晶圆特性数据作为映射条件，在预先搭建的划片刀具库中进行筛选，获得该划片阶段对应的最优刀具；考虑最优刀具对应的刀具参数与晶圆特性数据之间的交互作用，确定该划片阶段对应的最优划片工艺参数。其减少切割过程中的热积累，减少胶丝残留，提高产品良率。

本发明授权应用于超薄晶圆划片胶丝改良的工艺参数确定方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于超薄晶圆划片胶丝改良的工艺参数确定方法，其特征在于，包括： 对待划片作业的超薄晶圆进行特性分析，获得晶圆特性数据； 将所述晶圆特性数据输入至晶圆划片分析模型中，获得至少两个划片阶段；所述划片阶段至少包括去应力阶段和分离阶段； 针对每个所述划片阶段，将其对应的目标需求以及所述晶圆特性数据作为映射条件，在预先搭建的划片刀具库中进行筛选，获得该划片阶段对应的最优刀具； 考虑所述最优刀具对应的刀具参数与所述晶圆特性数据之间的交互作用，确定该划片阶段对应的最优划片工艺参数；划片工艺参数至少包括主轴转速、划片刀高以及切割速度； 在去应力阶段，结合最优刀具的刀具参数与晶圆特性，通过实验验证不同参数组合下的应力释放效果，设定切削热阈值以及应力释放均匀性指标，构建多目标优化函数，求解使应力释放充分且无过度损伤的主轴转速、划片刀高和切割速度组合，作为去应力阶段的最优划片工艺参数； 在分离阶段，依据最优刀具的刀具参数与晶圆特性，分析参数对切割边缘崩裂和胶丝生成的影响，以切割边缘崩裂尺寸与胶丝密度为约束，结合刀具寿命和产能需求，优化主轴转速、划片刀高和切割速度，作为分离阶段的最优划片工艺参数。

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