买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉深圳市石金科技股份有限公司申请的专利一种用于硅片镀膜的水平石墨舟获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120453207B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510929068.6，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种用于硅片镀膜的水平石墨舟是由刘平;肖杰;隗柯;黄旭;尼广超设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于硅片镀膜的水平石墨舟在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于硅片镀膜的水平石墨舟，涉及半导体器件技术领域，包括底片和顶片，底片和顶片之间设置有第一内片，底片和顶片之间还设置有第二内片，且第一内片和第二内片在底片和顶片间相互交替设置，第一内片和第二内片上均贯穿开设有贯穿槽，贯穿槽内固定设置有用于承载硅片的承载部，底片下方设置有用于支撑底片的支撑部，支撑部上设置有用于固定底片、第一内片、第二内片以及顶片的固定机构，支撑部上设置有调节机构。本装置通过设置有调节机构，从而使得本装置能够适用于不同厚度的待镀膜硅片的承载放置，进而有效防止硅片在镀膜过程中发生位移、倾斜和掉落，从而提高了硅片表面镀膜均匀性，有效降低了硅片镀膜的废品率。

本发明授权一种用于硅片镀膜的水平石墨舟在权利要求书中公布了：1.一种用于硅片镀膜的水平石墨舟，包括底片（1）和顶片（2），其特征在于，所述底片（1）和顶片（2）之间设置有多个等距分布的第一内片（3），所述底片（1）和顶片（2）之间还设置有多个等距分布的第二内片（4），且多个第一内片（3）和多个第二内片（4）在底片（1）和顶片（2）间相互交替设置，所述第一内片（3）和第二内片（4）上均贯穿开设有多个等距分布的贯穿槽（5），所述贯穿槽（5）内固定设置有用于承载硅片的承载部，所述底片（1）下方设置有用于支撑底片（1）的支撑部，所述支撑部上设置有用于固定底片（1）、第一内片（3）、第二内片（4）以及顶片（2）的固定机构，所述支撑部上设置有调节机构； 所述承载部包括： 承载框（6），位于所述贯穿槽（5）内，且承载框（6）远离底片（1）的表面开设有承载槽（7），所述承载槽（7）内开设有两个对称设置的调节槽（8）； 承载板（9），滑动设置于所述承载槽（7）内，且承载板（9）靠近调节槽（8）的端面固定设置有调节板（10），所述调节板（10）与所述调节槽（8）滑动连接； 所述调节机构包括： L形支板（16），具有多个，且多个L形支板（16）等距设置于任意一侧的垫块（11）上，且L形支板（16）与所述垫块（11）固定连接； 驱动部，具有多组，且多组驱动部分别设置于相应的L形支板（16）上； 调节部，具有多组，且多组调节部等距设置于所述底片（1）上，所述调节部用于调节相邻承载板（9）在承载槽（7）内的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市石金科技股份有限公司，其通讯地址为：518127 广东省深圳市西乡街道龙腾社区汇智研发中心BC座C1801；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。