万华化学集团电子材料有限公司李国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种抛光组合物及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120365857B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510857242.0，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种抛光组合物及其应用是由李国庆;王凯;卫旻嵩设计研发完成，并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光组合物及其应用在说明书摘要公布了：本申请属于化学机械抛光技术领域，具体涉及一种抛光组合物及其应用。本申请通过抛光组合物中各组分之间的配合，特别是硫代吡啶化合物与阴离子聚合物的配合，能够显著提升抛光效果，在实现对铜的高速去除的同时，有效避免凹陷发生。本申请中，抛光组合物可将铜氧化成CuOCu2O，所述硫代吡啶化合物所带“氮、硫”元素可以与铜形成强配位，吸附在氧化的铜膜表面，所述阴离子聚合物可通过电荷作用吸附在铜膜表面，上述两种物质，分别以不同的机理吸附在铜膜的表面，产生补强效应，可以抵抗抛光过程中的机械力对铜膜的破环力，从而达到抑制碟形凹陷发生的效果。
本发明授权一种抛光组合物及其应用在权利要求书中公布了：1.一种抛光组合物，其特征在于，所述抛光组合物包括研磨粒子、氧化剂、络合剂、腐蚀抑制剂、硫代吡啶化合物、pH调节剂、阴离子聚合物和去离子水，其中，以所述抛光组合物的总质量计，所述硫代吡啶化合物的质量百分含量为0.001wt%-0.1wt%；所述阴离子聚合物的质量百分含量为0.001%-0.1wt%； 所述硫代吡啶化合物包括（4-硫代吡啶）乙酸、3-（2-吡啶二硫代）丙酸、吡啶-2-硫代酰胺、4-吡啶硫代乙酸盐酸盐、吡啶-3-硫代酰胺、2，6-二氯吡啶-4-硫代酰胺、2-吡啶二硫代氨基甲酸乙酯、2-乙基吡啶-4-硫代甲酰胺、2,2’-二硫代二吡啶、3-（甲硫基）吡啶、2-甲硫基吡啶、4,4’-二硫代联吡啶中的至少一种。
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