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龙图腾网获悉环诚智能装备(成都)有限公司申请的专利一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120356861B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510837430.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统是由刘瑞;刘林;林镇樟;解家剑设计研发完成，并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统，真空腔室内设有晶圆，对位机构包括定位件、动力组件、动力传递部件以及密封单元；定位件设于真空腔室内部；动力组件设于真空腔室外部；动力传递部件用于将动力组件的动力传递至定位件，以使定位件做靠近或远离晶圆的往复运动；密封单元与真空腔室的外壁、动力组件相连并套设于动力传递部件的外部。本发明通过将动力组件外置于真空腔室，并采用动态密封的动力传递部件实现定位件的往复驱动，既避免了传统内置直线驱动器导致的真空污染和密封难题，又简化了真空腔室内部结构，同时显著提升了设备的维护便利性和长期运行可靠性，为高洁净度要求的晶圆键合工艺提供了更优的解决方案。

本发明授权一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统在权利要求书中公布了：1.一种用于真空腔室的对位机构，所述真空腔室内设有晶圆，其特征在于，所述对位机构包括： 定位件，设于所述真空腔室内部，并位于所述晶圆外侧；所述定位件包括连接部和接触部； 所述连接部连接至动力传递部件；所述接触部可转动的设置在所述连接部上，并用于与所述晶圆边缘形成滚动接触； 位于所述接触部与所述动力传递部件之间的所述连接部上设有缓冲缝，所述缓冲缝自所述连接部的侧壁朝所述连接部的内部延伸； 动力组件，设于所述真空腔室外部； 动力传递部件；所述动力传递部件的两端分别连接至所述定位件和所述动力组件；所述动力传递部件用于将所述动力组件的动力传递至所述定位件，以使所述定位件做靠近或远离所述晶圆的往复运动； 密封单元，所述密封单元与所述真空腔室的外壁、所述动力组件相连并套设于所述动力传递部件的外部，以使得所述动力传递部件在所述密封单元内部密封传动； 所述动力组件包括转动臂，所述转动臂铰接设置于所述真空腔室外并形成铰接点，所述转动臂包括位于所述铰接点两侧并可绕所述铰接点转动的从动部和主动部； 所述密封单元为焊接波纹管，所述焊接波纹管的一端密封连接至所述真空腔室外壁，所述焊接波纹管的另一端密封连接至所述转动臂； 所述动力传递部件远离所述定位件的一端位于所述焊接波纹管内部并连接至所述从动部； 所述对位机构还包括弹性缓冲组件，所述弹性缓冲组件包括： 固定块，固定设置； 移动件，穿过所述固定块并与所述固定块滑动配合； 第一弹性件，所述第一弹性件的一端连接至所述移动件，所述第一弹性件的另一端连接至所述动力传递部件或所述定位件。

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