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龙图腾网获悉齐鲁工业大学(山东省科学院)申请的专利一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120249949B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510717850.1，技术领域涉及：C23C18/12；该发明授权一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用是由朱汉飞;赵康康;罗红钰;李欣然;牛渊博;王海建设计研发完成，并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用，属于电子材料开发和薄膜材料技术领域。本发明采用溶胶‑凝胶旋涂法以及通过控制退火次数，实现了锆钛酸铅膜材料的制备。本发明提供的压电膜材料可以直接沉积在金属Pt涂覆的Si基体上，无需引入额外缓冲层或掺杂任何元素，退火时间短，制备过程简单，所需全部原材料廉价易得，尤其具有高取向度、低矫顽电压和优异的铁电、压电性能，适于制备大尺寸（2~4英寸）晶圆，在压电微机电系统（MEMS）器件领域展现出巨大应用潜力。

本发明授权一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种具有超高压电系数的锆钛酸铅膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： a在衬底上形成导电层，所述衬底为PtTiSiO2Si基体或PtTiSi基体； b通过溶胶-凝胶法制备锆钛酸铅前驱体溶液，并采用旋涂法在所述导电层上形成前驱体膜； c对所述前驱体膜进行干燥和热解处理； d重复步骤b和c以形成多层前驱体膜，然后进行一次快速热退火处理，所述快速热退火在氧气气氛中于550-750℃下进行，持续时间为3-10min；其中，重复步骤b和c以形成多层前驱体膜中，重复次数为5-8次； e重复步骤b至d直至达到所需的薄膜厚度，得到锆钛酸铅膜材料； 步骤a）中，所述衬底为Si基底和在Si基底上依次负载的Ti层和底电极Pt层；所述Si基底为Si或带有SiO2氧化层的Si； 步骤b）中，锆钛酸铅前驱体溶液的配制方法：依据PbZr0.52Ti0.48O3化学计量比分别计算出合成其前驱体溶胶所需要的Pb、Zr、Ti三种原料的含量，将乙二醇甲醚和冰醋酸以1.1-1.3:1体积比均匀混合，然后加入Pb原料，搅拌至Pb原料完全溶解；然后加入乙酰丙酮搅拌均匀，接着依次加入Ti和Zr原料，充分搅拌混合均匀；最后加入乙二醇甲醚以调节前驱体溶液的浓度，室温下搅拌，静置陈化； 步骤b）中，旋涂法的工艺条件为：低转速为600~1000rpm、旋涂时间为9~15s，高转速为2000~5500rpm、旋涂时间为15~35s； 步骤c）中，干燥温度为150~300℃、干燥时间为2~5min； 步骤c）中，热解温度为350~500℃，热解时间为2~10min； 步骤e）中，重复步骤b至d直至达到所需的薄膜厚度中，以一次快速热退火处理为一个周期，重复2~4个周期。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人齐鲁工业大学(山东省科学院)，其通讯地址为：250000 山东省济南市长清区大学路3501号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。