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龙图腾网获悉中山大学申请的专利基于纳米多晶氮化硼的超快高效电子探测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965069B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510113597.9，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权基于纳米多晶氮化硼的超快高效电子探测器是由郑伟;朱思琪设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于纳米多晶氮化硼的超快高效电子探测器在说明书摘要公布了：本发明涉及电子探测器领域，公开了一种基于纳米多晶氮化硼的超快高效电子探测器，包括纳米多晶氮化硼闪烁体、光导、以及光电倍增管，所述纳米多晶氮化硼闪烁体和光电倍增管分别与光导的前端和后端连接,其中,所述纳米多晶氮化硼闪烁体的纳米多晶氮化硼材料是以蓝宝石单晶片作为衬底，使用NH3和BCl3、或NH3和BF3作为原料气体，采用化学气相沉积炉进行外延生长制得的。本发明中，纳米多晶氮化硼闪烁体具有短电子衰减时间和高闪烁光产额，应用于电子探测器中可以实现超快高效的电子辐射探测。本发明的电子探测器可应用于电子束检测系统中的二次电子和背散射电子探测，为电子束检测技术提供了新的选择。

本发明授权基于纳米多晶氮化硼的超快高效电子探测器在权利要求书中公布了：1.一种基于纳米多晶氮化硼的超快高效电子探测器，其特征在于，包括纳米多晶氮化硼闪烁体1、光导2、以及光电倍增管3，所述纳米多晶氮化硼闪烁体1和光电倍增管3分别与光导2的前端和后端连接；其中， 所述纳米多晶氮化硼闪烁体1，用于接收电子辐照，并在电子激发下利用其纳米多晶结构的载流子限域效应产生纳秒级超快高亮度的闪烁发光； 所述纳米多晶氮化硼闪烁体1的纳米多晶氮化硼的材料是以蓝宝石单晶片作为衬底，使用NH3和BCl3、或NH3和BF3作为原料气体，采用垂直式化学气相沉积炉进行外延生长制得的； 所述光导2，用于将闪烁光传输至光电倍增管3； 所述光电倍增管3，用于接收经所述光导2传输的闪烁光并记录光子信息； 所述纳米多晶氮化硼闪烁体1由以下制备方法制得，所述制备方法包括以下步骤： S1、选择与氮化硼晶格匹配度低的蓝宝石单晶作为衬底，并选取易于形核的铝极性面作为生长面； S2、使用石墨夹具固定衬底，并将石墨夹具与衬底一并放入垂直式化学气相沉积炉内，抽真空后采用侧向加热至反应温度； S3、炉内通入NH3和BCl3、或NH3和BF3原料气体，使用N2作为载气； S4、通气后保持气体流量不变，并保持温度不变；最后断电冷却，氮化硼蓝宝石随炉冷却室温出炉，氮化硼自动脱落，得到纳米多晶氮化硼材料； S5、根据探测器需求将纳米多晶氮化硼材料裁剪为预设尺寸，制得纳米多晶氮化硼闪烁体。

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