买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利一种智能化晶圆刻蚀工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786396B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411991561.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种智能化晶圆刻蚀工艺是由江永;熊伟设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种智能化晶圆刻蚀工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及信息技术领域的一种智能化晶圆刻蚀工艺，包括：获取不同材料在各种药液配方下的刻蚀速率，构建覆盖多种材料体系的刻蚀速率数据库，通过比较数据库中的刻蚀速率差异，筛选出刻蚀选择性高的材料组合，确定针对性的药液配方优化方向；在刻蚀设备中安装多参数在线监测单元，采用光纤光谱仪实时测量药液浓度，采用热电偶和PH电极实时测量药液温度和酸碱度，当监测参数超出设定范围，启动药液配比调节程序，通过控制进液量和排液量，实现药液性质的动态调控，确保刻蚀工艺的稳定性和一致性。

本发明授权一种智能化晶圆刻蚀工艺在权利要求书中公布了：1.一种智能化晶圆刻蚀工艺，其特征在于，该工艺包括以下步骤： S101，获取不同材料在各种药液配方下的刻蚀速率，构建覆盖多种材料体系的刻蚀速率数据库，通过比较数据库中的刻蚀速率差异，筛选出刻蚀选择性高的材料组合，确定针对性的药液配方优化方向； S102，针对筛选出的材料组合，采用第一性原理计算研究药液中各组分与材料表面的相互作用机制，获取表面反应的动力学参数，进行分子动力学模拟，揭示药液扩散传质过程的微观机理，建立多尺度耦合的刻蚀过程模型，包括分子尺度的表面反应模型、介观尺度的扩散传质模型和宏观尺度的刻蚀形貌演化模型，通过这些模型的耦合，阐明材料去除的速率控制步骤和化学反应路径，指导药液配方的优化； S103，采用微流控芯片技术，设计集成多个平行的刻蚀反应腔，实现药液配方的高通量筛选，通过控制进样泵的流速和药液配比，在芯片内形成浓度梯度，利用光谱法实时监测芯片出口处的药液组成，获取不同配方下的刻蚀速率数据，运用机器学习算法建立配方与刻蚀性能的定量关系，获得刻蚀选择性高的药液配方； S104，根据微流控芯片筛选结果，针对刻蚀选择性高的药液配方，设计喷淋头阵列和搅拌装置，形成均匀的药液喷淋和湍流场，通过优化喷嘴形状、喷嘴数量、喷淋角度和搅拌叶片参数，强化药液与材料表面的传质过程，提高刻蚀均匀性，药液回收装置采用温度与电导率双参数控制，根据药液性质变化实时调整回收时间，减少药液浪费； S105，在刻蚀设备中安装多参数在线监测单元，采用光纤光谱仪实时测量药液浓度，采用热电偶和PH电极实时测量药液温度和酸碱度，当监测参数超出设定范围，启动药液配比调节程序，通过控制进液量和排液量，实现药液性质的动态调控，确保刻蚀工艺的稳定性和一致性； S106，对动态调控后的刻蚀结果进行表征和评估，以刻蚀深度、表面粗糙度和刻蚀残留为评价指标，采用光学显微镜和原子力显微镜对刻蚀结果进行表征，通过均匀性指数和选择性指数的计算，量化评估不同材料体系和药液配方的刻蚀性能，均匀性指数计算公式为刻蚀深度的标准差与平均值之比，选择性指数计算公式为两种材料刻蚀速率之比，对于性能评价结果，采用灰色关联分析确定关键工艺参数，用于指导智能优化系统的学习和迭代更新； S107，基于工艺优化实验数据，构建药液配方、工艺参数与刻蚀结果之间的非线性映射模型，该模型采用多层神经网络结构，输入层为药液配方和工艺参数，输出层为刻蚀深度、均匀性和选择性指标，将获得的刻蚀规律和调控策略，形成动态更新的知识推理规则，开发基于案例推理和模糊逻辑的智能决策系统，实现药液配方设计、工艺参数选取和刻蚀缺陷诊断的自动化和智能化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东凯迪微智能装备有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市大朗镇大朗富通路330号6栋302室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。