上海积塔半导体有限公司常乐伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种光刻胶过滤装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223366525U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422717695.7，技术领域涉及：B01D46/64；该实用新型一种光刻胶过滤装置是由常乐伟;洪岩;张伟设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶过滤装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光刻胶过滤装置，该装置设置于炉体与蝶阀之间的管路上，至少包括主体、阻流件和过滤件，主体包括与炉体连通的进气端，以及与蝶阀连通的输出端；主体内部依次套设阻流件与过滤件，阻流件与过滤件均为中空筒型结构，其中，阻流件与过滤件的侧壁与进气端相对设置，阻流件与过滤件的中空腔体与输出端相对设置。通过在设备管路中设置光刻胶过滤装置，混合有光刻胶的气流经过阻流件与过滤件的阻挡和沉积，以对来自炉体的光刻胶气流进行过滤，确保了下游管路中气流的纯净度，防止下游蝶阀堵塞，延长了蝶阀的使用寿命，维持了设备的稳定运行。
本实用新型一种光刻胶过滤装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶过滤装置，设置于炉体与蝶阀之间的管路上，其特征在于，至少包括： 主体，包括与所述炉体连通的进气端，以及与所述蝶阀连通的输出端； 在所述主体的边缘至中心的径向方向上，所述主体内部依次套设阻流件与过滤件，所述阻流件与所述过滤件均为中空筒型结构，其中， 所述阻流件与所述过滤件的侧壁与所述进气端相对设置，所述阻流件与所述过滤件的中空腔体与所述输出端相对设置。
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