湖北江城芯片中试服务有限公司刘长明获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北江城芯片中试服务有限公司申请的专利基板处理装置及基板偏移检测组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223376572U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422545491.X,技术领域涉及:G01B11/02;该实用新型基板处理装置及基板偏移检测组件是由刘长明设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板偏移检测组件在说明书摘要公布了:本申请涉及一种基板处理装置及基板偏移检测组件,由于测量点获取机构包括测距传感器,测距传感器用于根据第一行程差获取基板的边缘上的至少三个第一测量点,以及根据第二行程差获取边缘环的内缘或外缘上的至少三个第二测量点,从而能较为准确地获取到各个第一测量点的位置,以及较为准确地获取到各个第二测量点的位置,进而能精确地获取到基板的第一中心位置与边缘环的第二中心位置,从而能够准确地检测基板的位置是否发生偏移,减小人为判断误差,能有效降低基板位置偏移风险,从而能大大提高产品良率。
本实用新型基板处理装置及基板偏移检测组件在权利要求书中公布了:1.一种基板偏移检测组件,其特征在于,所述基板偏移检测组件包括: 测量点获取机构,所述测量点获取机构包括至少一个测距传感器,所述测距传感器用于与基板及基板处理装置的边缘环相对设置,所述测距传感器用于根据第一行程差获取所述基板的边缘上的至少三个第一测量点,以及用于根据第二行程差获取所述边缘环的内缘或外缘上的至少三个第二测量点;及 控制器,所述控制器与所述测量点获取机构电性连接,所述控制器用于根据至少三个所述第一测量点与至少三个所述第二测量点确定所述基板的第一中心位置与所述边缘环的第二中心位置的偏移量。
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