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淄博探微纳米科技有限责任公司杨珊珊获国家专利权

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龙图腾网获悉淄博探微纳米科技有限责任公司申请的专利一种高精度AFM探针贴片对准放置装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223377333U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422554191.8,技术领域涉及:G01Q10/00;该实用新型一种高精度AFM探针贴片对准放置装置是由杨珊珊;张冬;张明瀚;李金涛设计研发完成,并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高精度AFM探针贴片对准放置装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种高精度AFM探针贴片对准放置装置,该装置包括对准模片,和设置在对准模片上的对准放置位;所述对准放置位包括刻蚀对准模片一面的AFM探针轮廓,和刻蚀在对准模片另一面的贴片加载凹槽和AFM探针定位凹槽;所述AFM探针轮廓的刻蚀深度与所述贴片加载凹槽及AFM探针定位凹槽的刻蚀深度的和等于准模片的厚度,即AFM探针轮廓部分刻穿为镂空结构;用于AFM检测的探针贴片放置于贴片加载凹槽内,用于AFM检测的AFM探针通过AFM探针轮廓放置在贴片上,即可实现AFM探针与探针贴片之间精确对准放置,并确保二者接触可靠,具有良好的实用价值。

本实用新型一种高精度AFM探针贴片对准放置装置在权利要求书中公布了:1.一种高精度AFM探针贴片对准放置装置,其特征在于:包括对准模片(1),和设置在对准模片(1)上的对准放置位(2);所述对准放置位(2)包括刻蚀对准模片(1)一面的AFM探针轮廓(3),和刻蚀在对准模片(1)另一面的贴片加载凹槽(4)和AFM探针定位凹槽(5); 所述贴片加载凹槽(4)在AFM探针(6)与探针贴片(7)粘贴固定区域处与AFM探针轮廓(3)交叠重合; 所述AFM探针定位凹槽(5)位于贴片加载凹槽(4)的一侧,与AFM探针(6)的悬臂和针尖及部分针托的轮廓交叠重合; 所述AFM探针轮廓(3)的刻蚀深度与所述贴片加载凹槽(4)及AFM探针定位凹槽(5)的刻蚀深度的和等于准模片(1)的厚度,即AFM探针轮廓(3)部分刻穿为镂空结构; 用于AFM检测的探针贴片(7)放置于贴片加载凹槽(4)内,用于AFM检测的AFM探针(6)通过AFM探针轮廓(3)放置在贴片上,即可实现AFM探针(6)与探针贴片(7)的对准放置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人淄博探微纳米科技有限责任公司,其通讯地址为:255000 山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园8号楼1-5;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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