苏州昊岳科技有限公司王云凤获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州昊岳科技有限公司申请的专利高效硅片烘干炉结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223376185U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422103468.5，技术领域涉及：F26B1/00；该实用新型高效硅片烘干炉结构是由王云凤设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本高效硅片烘干炉结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种高效硅片烘干炉结构。其包括设备支架、设置在所述设备支架上的烘干炉隧道、部分设置在所述烘干炉隧道内部且置于所述设备支架上的输送机构、设置在所述烘干炉隧道上的热风烘干单元，在所述烘干炉隧道的前后端均设置有预加热通道单元，在所述预加热通道单元前后出口均设置有密封门，在所述预加热通道单元上设置有电动直线驱动模组。本实用新型的有益之处：本技术方案在烘干炉隧道的前后均设置预加热通道，同时预加热通道与烘干炉隧道之间设置密封门，从而可分开控制，通过预加热通道先进行预加热，再输送硅片，从而保证烘干炉隧道内部的热量不会散出，保证热量的储存。
本实用新型高效硅片烘干炉结构在权利要求书中公布了：1.一种高效硅片烘干炉结构，其包括设备支架、设置在所述设备支架上的烘干炉隧道、部分设置在所述烘干炉隧道内部且置于所述设备支架上的输送机构、设置在所述烘干炉隧道上的热风烘干单元，其特征在于：在所述烘干炉隧道的前后端均设置有预加热通道单元；所述预加热通道单元于所述烘干炉隧道相互接通，所述预加热通道单元包括预加热壳体、置于所述预加热壳体内部的出气板、以及设置在所述预加热壳体外的外壳安装板、以及安装在所述外壳安装板上的热风单元，在所述预加热壳体前后出口均设置有密封门，在所述预加热壳体上设置有用来控制密封门开关的电动直线驱动模组，所述密封门通过滑块安装在所述电动直线驱动模组上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州昊岳科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州工业园区科智路2号B幢二楼201室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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