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国仪量子技术(合肥)股份有限公司张茂辉获国家专利权

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龙图腾网获悉国仪量子技术(合肥)股份有限公司申请的专利气体注入装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118712038B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410698671.3,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权气体注入装置是由张茂辉;张伟;曹峰;贺羽设计研发完成,并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

气体注入装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种气体注入装置,气体注入装置安装在扫描电镜上,气体注入装置涉及精密仪器技术领域,气体注入装置包括:固定组件,固定组件设在扫描电镜的外部且中部限定有安装孔,固定组件包括连接件和支撑件,连接件与扫描电镜连接;气体注入件,气体注入件穿设在安装孔内且安装在支撑件上;多个调节件,多个调节件沿安装孔的周向间隔布置,调节件可活动的设在连接件和支撑件中的一个,且调节件适于与连接件和支撑件中的另一个抵接。根据本发明实施例的气体注入装置,通过在连接件和支撑件中的一个设置调节件,且调节件可以与连接件和支撑件中的另一个抵接,可以保证气体注入件的端部对准共焦点,提高操作人员所获取的数据的准确性,便于操作。

本发明授权气体注入装置在权利要求书中公布了:1.一种气体注入装置,所述气体注入装置安装在扫描电镜上,其特征在于,包括: 固定组件,所述固定组件设在所述扫描电镜的外部且中部限定有安装孔,所述固定组件包括连接件和支撑件,所述连接件与所述扫描电镜连接,所述连接件限定有限位槽,所述限位槽沿所述安装孔的周向延伸,所述支撑件的至少一部分位于所述限位槽内,所述连接件包括连接法兰与压盖,所述连接法兰安装在所述扫描电镜上,所述压盖设在所述连接法兰的远离所述扫描电镜的一侧,且所述压盖与所述连接法兰连接且限定出所述限位槽; 所述支撑件的至少一部分位于所述连接件的至少一部分在所述安装孔中轴线方向上的一侧且两者通过第一密封件密封连接,所述第一密封件设于所述限位槽的槽壁和所述支撑件之间; 所述支撑件包括:支撑主体和卡脚,所述支撑主体的中部限定有所述安装孔的一部分,所述卡脚设在所述支撑主体的一端,且所述卡脚的至少一部分位于所述支撑主体的所述一端的远离所述安装孔的一侧,所述卡脚插接至所述限位槽内,所述第一密封件设于所述卡脚与所述限位槽的槽壁之间; 气体注入件,所述气体注入件穿设在所述安装孔内且安装在所述支撑件上,所述支撑件还包括支撑环,所述支撑环设在所述支撑主体的中部且环绕所述气体注入件,所述气体注入件与所述支撑环滑动配合; 多个调节件,多个所述调节件沿所述安装孔的周向间隔布置,每个所述调节件设在所述连接件上且与所述连接件螺纹配合,所述调节件适于与所述支撑件的背离所述第一密封件的一侧抵接,所述调节件可相对于所述连接件活动以驱使所述支撑件的一部分向靠近或远离所述第一密封件的方向活动以调节所述支撑件的倾斜角度,以改变所述气体注入件的延伸方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人国仪量子技术(合肥)股份有限公司,其通讯地址为:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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