北京石墨烯研究院有限公司李琳琳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院有限公司申请的专利开放式卷对卷化学气相沉积系统及薄膜制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116200732B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310215853.6，技术领域涉及：C23C16/54；该发明授权开放式卷对卷化学气相沉积系统及薄膜制备方法是由李琳琳;杜东海;刘研学;蔡阿利设计研发完成，并于2023-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本开放式卷对卷化学气相沉积系统及薄膜制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种开放式卷对卷化学气相沉积系统，包括反应装置、反应气体装置、至少四个抽气装置、至少两个保护气体装置、至少一个左狭缝法兰、至少一个右狭缝法兰、放卷装置以及收卷装置。反应装置包括反应腔室，反应气体装置、至少四个抽气装置和至少两个保护气体装置均与反应腔室连通，左狭缝法兰设置与反应腔室的左侧，右狭缝法兰设置于反应腔室的右侧。本申请的开放式卷对卷化学气相沉积系统，反应腔室内的压力小于1000Pa，可以实现在不开启反应腔室的情况下更换卷材，并可以实时对产品进行在线或者离线监测。
本发明授权开放式卷对卷化学气相沉积系统及薄膜制备方法在权利要求书中公布了：1.一种开放式卷对卷化学气相沉积系统，其特征在于：包括： 反应装置，所述反应装置包括反应腔室、至少一个第一法兰和至少一个第二法兰；所述至少一个第一法兰连接于所述反应腔室的左端，其上连接有与所述反应腔室连通的管路，所述至少一个第二法兰连接于所述反应腔室的右端，其上连接有与所述反应腔室连通的管路； 反应气体装置，与所述反应腔室连通，用于向反应腔室内通入反应气体； 至少四个抽气装置，其中两个设置于所述反应腔室的左侧，并与所述反应腔室连通，另两个设置于所述反应腔室的右侧，并与所述反应腔室连通； 至少两个保护气体装置，分别设置于所述反应腔室的两侧，并均与所述反应腔室连通； 至少一个左狭缝法兰和至少一个右狭缝法兰，其中左狭缝法兰设置于所述第一法兰的左侧，右狭缝法兰设置于所述第二法兰的右侧； 放卷装置以及收卷装置，所述放卷装置设置于所述左狭缝法兰的左侧，所述收卷装置设置于所述右狭缝法兰的右侧； 所述反应腔室内的压力为1000Pa以下。
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