中国科学院长春光学精密机械与物理研究所安其昌获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利凸面镜面形检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115979171B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310063520.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权凸面镜面形检测装置及方法是由安其昌;吴小霞;王建立;陈涛;李洪文设计研发完成,并于2023-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本凸面镜面形检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种凸面镜面形检测装置及方法,光源发射的单束光经过光栅转化为空间等角分布的多束光,多束光经偏光片反射至凸面镜,凸面镜将多束线性光反射至平面反射镜,并原路返回至凸面镜,再被反射穿过偏光片,会聚于相机成像面的一点,通过转动凸面镜即可更换检测孔径,并判断凸面镜的面形是否合格,对凸面镜进行面形重建。本发明通过记录各促动器的调节量即可获得各光线由于凸面所引入的斜率变化,避免了复杂的空间角计算及实现零位检测,用不变的分量代替变化的分量,对斜率计算过程做出了极大简化。
本发明授权凸面镜面形检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种凸面镜面形检测方法,其特征在于,利用凸面镜面形检测装置实现,凸面镜面形检测装置包括:光源、光栅、偏光片、凸面镜、基底、相机、促动器和平面反射镜; 所述光源的发射光光路上依次设置有所述光栅和所述偏光片,所述光栅用于将所述光源发射的单束光转化为空间等角分布的多束光; 所述促动器至少为三个,其连接有所述平面反射镜,所述促动器在所述基底上位移并记录位移距离; 所述基底设置在所述凸面镜的上方,所述基底为凹形球面; 所述相机用于接收反射光; 由所述光源发射出的光束入射至所述偏光片,并被所述偏光片反射至所述凸面镜上,所述凸面镜将光束反射至所述平面反射镜,所述平面反射镜将光束沿入射光路反射至所述凸面镜上,再被所述凸面镜反射至所述偏光片,并透过所述偏光片会聚在相机的成像面上; 应用凸面镜面形检测装置进行凸面镜面形检测,具体包括以下步骤: S1、光源发射单束光,光栅将单束光转化为空间等角分布的多束光,偏光片将多束光反射至凸面镜; S2、沿基底位移促动器,使多束光分别照射至不同的所述促动器上的平面反射镜,分别记录所述促动器的位置,并保证多束光被所述平面反射镜反射回所述凸面镜的原反射位置,再被所述凸面镜反射,并透射通过所述偏光片,会聚到相机的成像面上,并记录会聚点为参考点,并获取当前子孔径的曲面斜率; S3、将所述凸面镜仅进行同心转动,对下一子孔径进行检测; 若参考点的位置发生偏移,调节所述促动器使多束光会聚到参考点,并分别记录所述促动器的调节量; 若转动一周后,参考点的位置仍不变,所述凸面镜面形检测合格。
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