北京航空航天大学聂晶获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利双通道谐振式温湿度传感器芯片、传感系统及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115950546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310025921.2，技术领域涉及：G01K7/20；该发明授权双通道谐振式温湿度传感器芯片、传感系统及加工方法是由聂晶;刘曦;王国华设计研发完成，并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本双通道谐振式温湿度传感器芯片、传感系统及加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及了一种双通道谐振式温湿度传感器芯片、传感系统及加工方法，一种双通道谐振式温湿度传感器芯片，包括：石英晶片基底，在基底上形成工作晶振单元、参比晶振单元以及测温单元，其中：工作晶振单元包括电极、设置于工作电极上的感湿薄膜以及电极外延区；参比晶振单元包括参比电极以及电极外延区；测温单元包括测温元件、引线外延区以及绝缘层，其中，引线外延区连接测温元件的两端；绝缘层覆盖测温元件和引线外延区；工作晶振单元与参比晶振单元分别在驱动电路激励下产生振动，以进行幅值信号与频率信号的输出，测温单元进行阻值信号的输出。本发明能够实现温频补偿功能，在对温湿度测量的同时消除温度对其所造成的影响，提高测量精度。
本发明授权双通道谐振式温湿度传感器芯片、传感系统及加工方法在权利要求书中公布了：1.一种双通道谐振式温湿度传感器芯片，其特征在于，包括： 石英晶片基底，在所述基底上形成工作晶振单元、参比晶振单元以及测温单元，其中： 所述工作晶振单元包括工作电极、设置于工作电极上的感湿薄膜以及连接所述工作电极的电极外延区； 所述参比晶振单元包括参比电极以及连接所述参比电极的电极外延区； 所述测温单元包括测温元件、引线外延区以及绝缘层，其中，所述引线外延区连接所述测温元件的两端；所述绝缘层覆盖所述测温元件和所述引线外延区； 所述工作晶振单元与参比晶振单元分别在驱动电路激励下产生振动，以进行幅值信号与频率信号的输出，所述测温单元进行阻值信号的输出。
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