北京烁科中科信电子装备有限公司范亚姣获国家专利权
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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种高能离子注入机的聚束谐振装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116031126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211686080.1,技术领域涉及:H01J37/30;该发明授权一种高能离子注入机的聚束谐振装置是由范亚姣;高静;崔春明;黄海龙;李进;李士会设计研发完成,并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高能离子注入机的聚束谐振装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高能离子注入机的聚束谐振装置,包括聚束谐振器主体,所述聚束谐振器主体包括桶体及安装于桶体上的聚束电极头和电感调节装置、安装于桶体内的感应线圈;所述桶体安装至电极法兰和顶板上,所述电极法兰中设有一组以上的孔和盲板;所述孔上设有下沉槽,所述盲板安装至孔的下沉槽上,实现密封。本发明具有结构简单、使用方便、可调效果好等优点。
本发明授权一种高能离子注入机的聚束谐振装置在权利要求书中公布了:1.一种高能离子注入机的聚束谐振装置,其特征在于,包括聚束谐振器主体,所述聚束谐振器主体包括桶体(5)及安装于桶体(5)上的聚束电极头(201)和电感调节装置(6)、安装于桶体(5)内的感应线圈(3);所述桶体(5)安装至电极法兰(10)和顶板(11)上,所述电极法兰(10)中设有一组以上的孔和盲板;所述孔上设有下沉槽,所述盲板安装至孔的下沉槽上,实现密封;还包括馈入天线7,通过调节所述馈入天线7与天线安装支座长条孔的安装位置来调节谐振器的驻波比,使谐振器的谐振频率与馈入信号的频率相等;所述馈入天线7的天线安装支座1为长条孔,所述馈入天线7为软性材料天线,通过天线安装支座1上的长条孔调整馈入天线7与感应线圈3的相对位置;所述聚束电极头(201)安装于聚束电极头安装座(1011)上的聚束电极头安装孔(1021)内,所述聚束电极头安装孔(1021)为长条形;所述聚束电极头(201)放置于第一滤束板(202)和第二滤束板(203)之间,与第一滤束板(202)的间距L1,与第二滤束板(203)的间距L2,通过聚束电极头安装孔(1021)和聚束电极头安装座(1011)可实现L1和L2的调整,离子经过L1使得能量高的粒子逐渐赶上能量低的粒子,实现纵向聚束,经过L2后的粒子飘逸至第一加速单元。
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