北京烁科中科信电子装备有限公司刘瑞强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种机械式卡盘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116031198B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211686631.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种机械式卡盘装置是由刘瑞强;倪玉河;赵官源;李进设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种机械式卡盘装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种机械式卡盘装置，其包括承载盘、水冷基座及承载于水冷基座上的卡爪、水冷基座、曲柄‑滑块机构、加热线圈连接器、温度传感器；所述水冷基座内部有冷却管道，在所述承载盘高温时冷却管道内通入冷却介质，用于冷却承载盘之外的部件。本发明具有结构简单紧凑、制作简单、使用简便、适用范围广等优点。
本发明授权一种机械式卡盘装置在权利要求书中公布了：1.一种机械式卡盘装置，其特征在于，包括承载盘、水冷基座及承载于水冷基座上的卡爪、水冷基座、曲柄-滑块机构、加热线圈连接器、温度传感器连接器；所述水冷基座内部有冷却管道，在所述承载盘高温时冷却管道内通入冷却介质，用于冷却承载盘之外的部件；所述曲柄-滑块机构包括三组以上的曲柄和滑块，三组以上的曲柄和滑块在圆周方向上呈均布，与圆周均布的卡爪相对应；所述水冷基座的内部有滑槽，用于约束滑块的滑动；所述滑块用来驱动滚轮，驱使卡爪绕旋转轴进行旋转运动，实现松开和夹紧的动作；所述曲柄-滑块机构中的驱动基座通过第二芯轴与曲柄的一端形成铰连接，曲柄的另一端通过第一芯轴分别与滑块形成铰连接，用于驱动卡爪，使卡爪绕旋转轴根据滑块的凸轮曲线有规律的旋转运动，实现载物的夹紧和放开动作；所述驱动基座与顶杆为硬连接，当顶杆上、下运动驱动载物时，驱动曲柄绕第二芯轴转动，曲柄通过第一芯轴驱动滑块在水冷基座的滑槽内滑动；所述滚轮通过固定销与卡爪配合，在压缩弹簧的作用下，滚轮与曲柄-滑块机构中的滑块的曲面充分接触，用以使滑块驱动卡爪。
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