深圳市矩阵多元科技有限公司张晓军获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115985746B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211665192.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种等离子体处理装置是由张晓军;邵寿潜;李永杰;朱新华设计研发完成，并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明属于等离子体处理技术领域，公开一种等离子体处理装置，包括腔体、第一电极及第二电极，第一电极与第二电极相对设置在腔体内；第一电极由内向外依次分割为第一分割电极、环形的第二分割电极以及第三分割电极，第三分割电极分为多个边缘分割电极，第一分割电极、第二分割电极及多个边缘分割电极彼此绝缘且通过阻抗调整部与接地端或射频电源连接，第一分割电极、第二分割电极及多个边缘分割电极靠近第二电极的一面上均设有预定深度的孔位或和凹槽。本发明通过在分割后的电极上开设孔位或和凹槽，减缓电极分割后电压的升高趋势，从而减弱带电离子对分割后电极的轰击，避免过强的离子轰击会对分割后的电极表面造成损伤。
本发明授权一种等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，包括腔体、第一电极及第二电极，所述第一电极与所述第二电极相对设置在所述腔体内；其特征在于， 所述第一电极由内向外依次分割为第一分割电极、环形的第二分割电极以及第三分割电极，所述第三分割电极分为多个边缘分割电极，所述第一分割电极、所述第二分割电极以及所述多个边缘分割电极彼此绝缘且通过阻抗调整部与接地端或射频电源连接，所述第一分割电极、所述第二分割电极以及所述多个边缘分割电极靠近所述第二电极的一面上均设有预定深度的孔位或和凹槽； 所述第一分割电极、所述第二分割电极以及所述多个边缘分割电极上的孔位或和凹槽的深度不同。
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