武汉颐光科技有限公司石雅婷获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉颐光科技有限公司申请的专利一种非理想椭偏系统的校准方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115752265B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211401201.3,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权一种非理想椭偏系统的校准方法是由石雅婷;刘亚鼎;郭春付;李伟奇;张传维;何勇;薛小汝设计研发完成,并于2022-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非理想椭偏系统的校准方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种非理想椭偏系统的校准方法,包括:获取标准样件在测量系统的实测光强信息并进行归一化,得到标准样件的实测归一化光强信息;根据标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息,拟合迭代出测量系统的系统参数;获取待测样件的实测光强信息并进行归一化,得到待测样件的实测归一化光强信息;根据拟合迭代出的所述测量系统的系统参数,基于待测样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息,拟合迭代出待测样件参数。本发明在求解系统参数时,在系统参数中新增三角函数的拟合参数,当波片存在倾斜时,依旧可以进行高精度逐波长校准。
本发明授权一种非理想椭偏系统的校准方法在权利要求书中公布了:1.一种非理想椭偏系统的校准方法,其特征在于,包括: 获取标准样件在测量系统的实测光强信息并进行归一化,得到标准样件的实测归一化光强信息; 根据标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息,拟合迭代出测量系统的系统参数,所述系统参数包括检偏复合波片的相位延迟量、检偏复合波片的方位角、起偏复合波片的相位延迟量、起偏复合波片的方位角、检偏片的方位角以及起偏片的方位角,和新增的检偏复合波片的相位延迟量的三角函数相位以及振幅、检偏复合波片的方位角的三角函数相位以及振幅、起偏复合波片的相位延迟量的三角函数相位以及振幅、起偏复合波片的方位角的三角函数相位以及振幅、检偏片的方位角的三角函数相位以及振幅以及起偏片的方位角的三角函数相位以及振幅; 获取待测样件的实测光强信息并进行归一化,得到待测样件的实测归一化光强信息; 根据拟合迭代出的所述测量系统的系统参数,基于待测样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息,拟合迭代出待测样件参数; 所述根据标准样件的实测归一化光强信息和理论归一化光强信息,拟合迭代出测量系统的系统参数,包括: 构建测量系统的系统模型: (4); 其中,为样品穆勒矩阵,为起偏臂以及检偏臂的偏振片穆勒矩阵,为起偏复合波片与检偏复合波片的旋光角,为起偏复合波片与检偏复合波片的光轴方位角,为电机一与电机二的转速,以及为起偏复合波片和检偏复合波片的相位延迟量穆勒矩阵,R为旋转矩阵,P、A、C1、C2为起偏片、检偏片、起偏复合波片以及检偏复合波片的初始方位角,t为时间,为归一化自然光的Stokes向量,、、、、以及为测量系统的系统参数,其中,与为检偏片的方位角的三角函数的振幅和相位,与为检偏复合波片的方位角的三角函数的振幅和相位,与为检偏复合波片的相位延迟量的三角函数的振幅和相位,与为起偏复合波片的方位角的三角函数的振幅和相位,与为起偏复合波片的相位延迟量的三角函数的振幅和相位,与为起偏片的方位角的三角函数的振幅和相位; 确定初始系统参数,根据公式(4),求解出对应的理论归一化光强信息,并计算求解出的理论归一化光强信息与标准样件的实测归一化光强信息之间的评价值; 通过不断调整系统参数,基于公式(4)求解出对应的理论归一化光强信息,直到求解出的理论归一化光强信息与标准样件的实测归一化光强信息之间的评价值满足条件,获取测量系统的系统参数。
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