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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115711575B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211380550.1，技术领域涉及：G01B9/02055；该发明授权斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法是由郑东晖;胡晨辉;陈磊;钱月;张喆;马致遥;李若琨设计研发完成，并于2022-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法，该方法为：首先根据被测件种类确定回程误差的阶数，判断敏感因子矩阵数q；改变q次被测件的姿态，并测量每次相位结果；然后根据测量相位结果计算结果中的倾斜量，代入方程组中计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；接着根据校正后的相位计算x、y方向上的面形导致局部倾斜量，并更新倾斜量，重新代入方程组计算各个敏感因子矩阵以及校正后相位；重复上述过程直至迭代收敛，得到敏感因子矩阵以及校正后相位结果。本发明可以校正斐索干涉仪在球面和平面测量中由于非零位测量导致的回程误差，无需对干涉仪内部结构进行建模，简单高效，适用范围广。

本发明授权斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法在权利要求书中公布了：1.一种斐索干涉仪球面和平面测量中回程误差的迭代修正方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、根据被测件种类确定回程误差的阶数，判断敏感因子矩阵数q； 步骤2、改变被测件的姿态，重复3q次，得到3q次测量结果，然后根据测量的3q次相位数据计算每一个结果中的对应的倾斜角度； 步骤3、将倾斜角度代入敏感因子线性方程组中，计算对应的敏感因子矩阵以及校正相位结果； 步骤4、根据计算的相位结果，计算局部面形导致的倾斜角度，然后更新倾斜角度，重新代入敏感因子线性方程组中，计算新的敏感因子矩阵以及校正相位； 步骤5、根据计算前后的相位结果得到收敛判定函数值，若不满足收敛阈值则继续步骤4，否则结束迭代循环，输出回程误差校正后结果以及对应的敏感因子矩阵； 步骤1所述的根据被测件种类确定回程误差的阶数，判断敏感因子矩阵数q，具体如下： 在平面测量中，敏感因子矩阵数q＝1；在球面测量中，敏感因子矩阵数q＝2； 在平面测量中，敏感因子矩阵数q＝1；在球面测量中，敏感因子矩阵数q＝2，具体如下： 在平面测量中，回程误差是由于被测件倾斜角度所导致的波前误差，因此有： 式中，Wρ,θ,x0为波前量，ΔWn为干涉仪中准直光束波前，x0为波前坐标量，Δx为x方向的偏移量，W222为像散系数，ρ为极坐标下对应极径，θ为极坐标下的极角，W131为彗差系数，W220为场曲系数，W311为畸变系数； 根据式1，被测件倾斜角度引入的波前误差与成像点位置的视场角近似成线性关系，因此平面测量中的回程误差是干涉仪内部光学元件对于倾斜光束引入的额外像差所导致的，不同像差与被测件倾斜角度成线性关系，敏感因子矩阵数q＝1； 在球面测量中，回程误差还包括由于参考件和测试件反射光束光程不一致所导致的回程误差，因此有： OPD≈α2R1ρ+1ρ2其中，OPD为参考件和测试件反射光束光程不一致所导致的回程误差，α为测试波前倾斜角度，R1为参考球面透镜半径，R2为测试球面镜半径，ρ＝R2R1； 因此，在球面测量中，回程误差不仅和被测件的半径相关，同时还和波前倾斜角度的平方近似成线性关系，敏感因子矩阵数q＝2。

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