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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种适用于半导体行业的真空矩形阀门获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116357802B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210917372.5，技术领域涉及：F16K51/02；该发明授权一种适用于半导体行业的真空矩形阀门是由李加平;姜小蛟;李茂成设计研发完成，并于2022-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于半导体行业的真空矩形阀门在说明书摘要公布了：本发明是一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，主要包括动力组件、升降组件、外壳组件、腔体组件构成；用于连接传输腔室与反应腔室的机构装置，或用于密封真空腔体。通过设计空间凸轮及轨道结构，输入为旋转动力源电机或转动气缸，实现了阀门的稳定上升及水平关闭，通过设计合理的升降路径及方式，规避了由振动产生污染颗粒的可能。实现阀门轴的升降及水平关闭，确保阀门在关闭时不会产生摩擦，且通过空间凸轮及轨道原理实现了动作周期内的顺滑运动。本发明具有结构简便、装配简单、维护方便等优势。

本发明授权一种适用于半导体行业的真空矩形阀门在权利要求书中公布了：1.一种适用于半导体行业的真空阀门，其特征在于，主要包括动力组件、升降组件、外壳组件、腔体组件构成； 动力组件主要由电机、支撑轴承、紧定螺钉、转动轴、轴用卡簧构成；其中电机通过紧定螺钉与转动轴连接，将动力传给转动轴，使其产生转动；转动轴通过两端的支撑轴承，并由轴用卡簧限制位置；其中支撑轴承安装在左侧外壳及右侧外壳上；升降组件通过孔轴配合安装在转动轴上； 升降组件主要由空间凸轮、滚子、升降轴、升降轴座、导向轴构成；其中空间凸轮通过孔轴配合安装在转动轴上，并通过轴用卡簧限制凸轮的串动，空间凸轮由等直径结构及变直径结构构成，并在轮廓上设计轨道；滚子上的凸起结构与空间凸轮上的轨道相互配合，滚子可以沿着轨道滚动；滚子通过转轴及卡簧和升降轴连接，升降轴通过升降轴座实现限位及导向；升降轴座通过两侧的导向轴与右侧外壳、左侧外壳实现限位及导向；波纹管结构一部分固定在升降轴座上，另一部分固定在左侧外壳、右侧外壳上，此时波纹管结构与左侧外壳、右侧外壳、支撑结构、腔体连接板之间形成密封空间； 腔体组件主要由腔体连接板、腔体、阀板构成；其中腔体连接板一面设计密封结构，另一面设计安装孔；腔体连接板与腔体通过螺钉连接，并通过密封结构密封；腔体连接板上通过螺钉将外壳组件固定，升降轴通过腔体连接板中心孔运动至腔体中，阀门通过真空螺钉固定在升降轴上； 外壳组件主要由左侧外壳、右侧外壳、支撑结构构成；其中左侧外壳、右侧外壳上端均固定在腔体连接板上，下端通过螺钉固定在两个支撑结构上，支撑结构通过螺钉固定在腔体连接板上； 当阀门处于初始位置时，滚子处于空间凸轮的轨道起点，空间凸轮变直径结构的最近端；此时升降轴及阀板在腔体空间的一侧；当电机开始运行时，转动轴开始转动，带动空间凸轮转动；空间凸轮上的特定轨道为螺旋线状，当处于变直径阶段时，升降轴及阀板在滚子运动下，一起进行水平及竖直方向合运动；此时升降轴与升降轴座组成移动副，固定在升降轴座上的导向轴与右侧外壳、左侧外壳组成移动副； 当阀门运动至关闭高度时，由于特定轨道的作用，此时刚好空间凸轮转至等直径段；当电机继续转动时，此时滚子带动升降轴与阀门沿着等直径结构上的轨道进行水平运动；此时导向轴与右侧外壳、左侧外壳组成移动副；当水平运动至阀板与腔体密封时，电机停止运动，空间凸轮停止转动，滚子被限制在轨道内，形成阀门关闭的自锁；空间凸轮变直径最近端与最远端的半径之差即为阀门的升降高度。

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