东京毅力科创株式会社池田太郎获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114864366B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210080663.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置是由池田太郎;北原聪文设计研发完成，并于2022-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体处理装置，等离子体处理装置具备：同轴管，其设置为沿上下方向延伸，形成高频波导的一部分；基板支承部，其用于支承基板；电极，其具有与向所述基板支承部的上方的空间开口的气体喷出口连接的气体流路，所述电极设于所述基板支承部的上方且在中央连接有所述同轴管的内侧导体；扩径部，其与所述电极一起形成所述高频波导的一部分，并与所述同轴管的外侧导体连接；电介质管，其由电介质构成，该电介质管以贯穿所述电极与所述扩径部之间的空间的方式与所述电极连接，用于向所述电极供给气体，其中，以散布的方式设置有多个所述电介质管。
本发明授权等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其具备： 同轴管，其设置为沿上下方向延伸，形成高频波导的一部分； 基板支承部，其用于支承基板； 电极，其具有与向所述基板支承部的上方的空间开口的气体喷出口连接的气体流路，所述电极设于所述基板支承部的上方且在中央连接有所述同轴管的内侧导体； 扩径部，其与所述电极一起形成所述高频波导的一部分，并与所述同轴管的外侧导体连接，所述扩径部设于所述电极的上方；以及 电介质管，其由电介质构成，该电介质管以贯穿由所述电极的上表面与所述扩径部的下表面划分出的空间的方式与所述电极连接，用于向所述电极供给气体， 其中，以散布的方式设置有多个所述电介质管。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号