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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120565478B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511062226.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统是由李季;徐巍;李艺杰;曾祥军;姜红玉设计研发完成，并于2025-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统，包括：离子束设备、作业台、操作组件与辅助作业组件。辅助作业组件包括：第一载具、第二载具、第一调节机构和第二调节机构；第一载具用于放置第一样品；第二载具用于放置第二样品；第一调节机构用于调节第一载具；第二调节机构用于调节第二载具。离子束设备用于对第一载具或第二载具上的样品进行检测。本方案中，操作组件能够将第一样品转运至第一载具上以及将第二样品转运至第二载具上，并配合第一调节机构和第二调节机构将第一样品和第二样品固定，实现对离子束设备上样和取样过程的全程自动化作业，从而减少人为操作误差提高作业效率。

本发明授权一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统在权利要求书中公布了：1.一种全自动飞秒激光聚焦离子束显微加工系统，其特征在于，包括：离子束设备（100）、作业台（200）、操作组件（300）与辅助作业组件（400）； 所述作业台（200）设置于所述离子束设备（100）旁侧； 所述辅助作业组件（400）包括：第一载具（410）、第二载具（420）、第一调节机构（430）和第二调节机构（440）； 所述作业台（200）上设置有供所述第一载具（410）放置的第一凸台（210）和用于供所述第二载具（420）放置的第二凸台（220）； 所述第一载具（410）上设置有尺寸可调节的第一放置槽（411）； 所述第一调节机构（430）设置于所述第一凸台（210）旁侧，用于调节所述第一放置槽（411）的大小以固定第一样品（10）； 所述第二载具（420）上设置有尺寸可调节的第二放置槽（424）； 所述第二调节机构（440）设置于所述第二凸台（220）旁侧，用于调节所述第二放置槽（424）的大小以固定第二样品（20）； 所述离子束设备（100）设置有相互连通的检测腔（110）和进出腔（120）； 所述检测腔（110）用于放置所述第一载具（410），并配置有第一门体（111）； 所述进出腔（120）用于放置所述第二载具（420），并配置有第二门体（121）； 所述第二门体（121）贯穿设置有能够滑动且能够转动的滑动杆（122）； 所述滑动杆（122）的内端设置有螺纹端（123）； 所述第二载具（420）上设置有螺纹孔（421）； 所述操作组件（300）设置于所述作业台（200），用于执行上片操作、转运操作、开闭操作以及转推操作； 所述上片操作为将第一样品（10）转运至所述第一载具（410）或将所述第二样品（20）转运至所述第二载具（420）； 所述开闭操作为开闭所述第一门体（111）和所述第二门体（121）； 所述转运操作为将所述第一载具（410）转运至所述检测腔（110）或将所述第二载具（420）转运至所述进出腔（120）； 所述转推操作为转动并推动所述滑动杆（122）以使所述螺纹端（123）连接所述螺纹孔（421），之后移动所述滑动杆（122）带动所述第二载具（420）移动至所述检测腔（110）。

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