浙江大学钟欢获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种具有非对称阶梯形场氧的LDMOS器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120264814B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510752454.2,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权一种具有非对称阶梯形场氧的LDMOS器件是由钟欢;綦殿禹;许凯;高大为设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有非对称阶梯形场氧的LDMOS器件在说明书摘要公布了:本发明公开一种具有非对称阶梯形场氧的LDMOS器件。本发明LDMOS器件的场氧结构采用非对称阶梯形,实现STI厚度的非对称协同调控,阶梯侧通过梯度扩展场氧边界,削弱STI拐角处的电场集中,使击穿电压提升,非阶梯侧的倾斜角度保留厚场氧区域,抑制源极侧电场尖峰,延缓雪崩击穿,同时降低热载流子注入风险。该结构兼顾了击穿能力与导通效率的协同优化,特别适用于对低损耗与高可靠性要求兼具的高压BCD平台,是一种具有工艺兼容性强、设计灵活性高的结构创新方案。
本发明授权一种具有非对称阶梯形场氧的LDMOS器件在权利要求书中公布了:1.一种具有非对称阶梯形场氧结构的LDMOS器件,其特征在于,所述LDMOS器件包括: 衬底1; 栅极7,形成于所述衬底1上方; 漂移区2、第一阱区4,分别形成在所述衬底1的两侧,且所述第一阱区4与所述漂移区2间存在距离; 第二阱区5,形成在所述漂移区2内; 体区8,形成在所述第一阱区4内; 非对称阶梯形场氧结构3,形成在所述漂移区2内; 漏极11,形成在所述第二阱区5内; 源极10和体极12,形成在所述体区8内; 其中,所述非对称阶梯形场氧结构3为一体成型结构,包括从下至上配置的底部梯形结构3-2、顶部梯形结构3-1;所述底部梯形结构3-2的朝向所述第一阱区4侧壁与所述顶部梯形结构3-1的朝向所述第一阱区4侧壁位于同一直线;所述顶部梯形结构3-1的下端与所述底部梯形结构3-2的上端连接,且所述顶部梯形结构3-1的下端长度大于所述底部梯形结构3-2的上端。
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