苏州励索精密装备科技有限公司刘宏伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州励索精密装备科技有限公司申请的专利一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119668046B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411881811.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法是由刘宏伟;金锋设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法，涉及浸没头检测技术领域；包括外箱，外箱内部一端设置有检测维护机构，在外箱内部滑动设置有检测执行机构，检测执行机构包括作业台，在作业台的两个端面上，其中一个端面设置有超声清洁机构，另一个端面上配合设置有样品盘，在作业台内部设置有流场检测相机，且在样品盘上布置有拍摄孔，流场检测相机的镜头配合设置在样品盘上拍摄孔中；检测件用于对样品盘进行维护检测；本发明可便于对介质流场中的气泡进行检测，检测过程不需要人力过多参与，模拟晶圆光刻时的作业形式，实现高效检测，功能丰富，可便于实现维护。
本发明授权一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置，包括外箱1，其特征在于：外箱1内部一端设置有检测维护机构，检测维护机构包括旋转安装在外箱1上的齿盘11，齿盘11上滑动设置有检测盘14，检测盘14上滑动设置有检测件；在外箱1内部滑动设置有检测执行机构，检测执行机构包括滑动安装在外箱1上的移动架25，移动架25上旋转安装有安装环29，安装环29上滑动设置有位置座33，位置座33上设置有升降电缸34，升降电缸34伸缩杆上旋转设置有作业台36，在作业台36的两个端面上，其中一个端面设置有超声清洁机构，另一个端面上配合设置有样品盘37，在作业台36内部设置有流场检测相机42，且在样品盘37上布置有拍摄孔，流场检测相机42的镜头配合设置在样品盘37上拍摄孔中；检测件用于对样品盘37进行维护检测。
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