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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利控制电路以及刻蚀真空系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297066B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411366749.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权控制电路以及刻蚀真空系统是由宗亮亮;吕明;李文通;胡冬华设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本控制电路以及刻蚀真空系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种控制电路以及刻蚀真空系统，其中，该控制电路，包括：电源模块、互锁控制模块以及开关模块；互锁控制模块包括：供电控制单元以及连接控制单元；连接控制单元的输出端分别与等离子刻蚀机的入口载锁以及等离子刻蚀机的出口载锁连接；供电控制单元用于在开关模块导通时上电，并向连接控制单元发出电磁信号；连接控制单元用于在电磁信号的作用下，在连接控制单元的输出端与入口载锁以及等离子刻蚀机的真空抽取装置之间形成回路，以将入口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取装置导通，且将出口载锁与等离子刻蚀机的真空抽取装置断开。本申请能够对等离子刻蚀机的真空抽取过程进行控制，从而有效避免了大气回灌现象的产生。

本发明授权控制电路以及刻蚀真空系统在权利要求书中公布了：1.一种控制电路，其特征在于，包括：电源模块、互锁控制模块以及开关模块； 所述互锁控制模块包括：供电控制单元以及连接控制单元； 所述电源模块的第一输出端与所述供电控制单元的第一端连接，所述电源模块的第二输出端与所述开关模块的输入端连接，所述开关模块的输出端与所述供电控制单元的第二端连接； 所述连接控制单元的输出端分别与等离子刻蚀机的入口载锁以及等离子刻蚀机的出口载锁连接； 所述供电控制单元用于在所述开关模块导通时上电，并向所述连接控制单元发出电磁信号； 所述连接控制单元用于在所述电磁信号的作用下，在所述连接控制单元的输出端与所述入口载锁以及所述等离子刻蚀机的真空抽取装置之间形成回路，以将所述入口载锁与所述等离子刻蚀机的真空抽取装置导通，且将所述出口载锁与所述等离子刻蚀机的真空抽取装置断开； 或者，在所述连接控制单元的输出端与所述出口载锁以及所述等离子刻蚀机的真空抽取装置之间形成回路，以将所述出口载锁与所述等离子刻蚀机的真空抽取装置导通，且将所述入口载锁与所述等离子刻蚀机的真空抽取装置断开。

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