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龙图腾网获悉广东工业大学;汕头大学申请的专利一种面向Micro LED芯片巨量转移的柔性恒力悬浮式调平微动平台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118553666B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410603299.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种面向Micro LED芯片巨量转移的柔性恒力悬浮式调平微动平台是由魏华贤;陈俊强;汤晖;蔡昭寅;潘鑫杰;罗洋设计研发完成，并于2024-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种面向Micro LED芯片巨量转移的柔性恒力悬浮式调平微动平台在说明书摘要公布了：本发明涉及LED芯片巨量转移技术领域，尤其涉及一种面向MicroLED芯片巨量转移的柔性恒力悬浮式调平微动平台。包含动平台和底座，动平台和底座之间设有多个压电驱动单元，压电驱动单元用于对动平台进行纠偏，动平台和底座之间还设有多个柔性恒力支撑单元、至少一个柔性支撑单元和至少一组限位装置；柔性恒力支撑单元一端连接动平台，相对一端连接底座，用于承受动平台及载荷重力；柔性支撑单元一端连接动平台，相对一端连接底座，用于调节动平台刚度；限位装置一端连接动平台，相对一端连接底座，用于限制动平台纵向的最大位移量。柔性恒力支撑单元处于恒力悬浮状态承受动平台大载荷，再结合压电驱动单元的纠偏作用实现大行程进给和调平，达到芯片载体与目标基板之间的位置要求。

本发明授权一种面向Micro LED芯片巨量转移的柔性恒力悬浮式调平微动平台在权利要求书中公布了：1.一种面向MicroLED芯片巨量转移的柔性恒力悬浮式调平微动平台，包含动平台（1）和底座（2），动平台（1）和底座（2）之间设有多个压电驱动单元（4），其特征在于：动平台（1）和底座（2）之间还设有多个柔性恒力支撑单元（3）和至少一个柔性支撑单元（5）； 柔性恒力支撑单元（3）一端连接动平台（1），相对一端连接底座（2），用于支撑动平台（1）及载荷的重力； 压电驱动单元（4）一端连接动平台（1），相对一端连接底座（2），用于驱动动平台（1）实现大行程进给和调平； 柔性支撑单元（5）一端连接动平台（1），相对一端连接底座（2），用于将柔性恒力支撑单元（3）锁定在恒力区间，调节动平台（1）与底座（2）之间的连接刚度； 柔性恒力支撑单元（3）包含柔性恒力机构（31）和柔性恒力机构（31）中心上方的多轴柔性铰链三（33），多轴柔性铰链三（33）与动平台（1）连接，柔性恒力机构（31）与底座（2）连接； 柔性恒力机构（31）包括支架（32），支架（32）底端与底座（2）连接，支架（32）靠近底部设置多边形框架（34），多边形框架（34）最下方的顶点与支架（32）底端内侧连接，多边形框架（34）其余顶点与支架（32）不接触，与多边形框架（34）最下方顶点相对的顶点为多边形框架（34）最上方的顶点，多边形框架（34）最上方的顶点连接多轴柔性铰链三（33）底端，多轴柔性铰链三（33）顶端连接动平台（1）； 多边形框架（34）上方还设有柔性双稳态机构（36），柔性双稳态机构（36）两端分别连接支架（32）两侧边的内侧，多边形框架（34）最上方的顶点套设穿过柔性双稳态机构（36）的中点后与多轴柔性铰链三（33）底端连接；柔性双稳态机构（36）被多边形框架（34）最上方的顶点分为对称的两部分，一侧为左半侧（361），另一侧为右半侧（362）；左半侧（361）和右半侧（362）之间的夹角为α，α的度数满足区间（0，180），左半侧（361）与竖直方向的夹角为β，β的度数区间为（0，90）； 多边形框架（34）为菱形，多边形框架（34）的每条边均为矩形梁型柔性铰链一（35），柔性双稳态机构（36）的每条边均为矩形梁型柔性铰链三； 动平台（1）和底座（2）之间至少还设置一组限位装置（6），限位装置（6）一端连接动平台（1），相对一端连接底座（2），相对于动平台（1）轴心对称分布，用于限制动平台（1）纵向的最大位移量。

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