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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117943366B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311694863.9，技术领域涉及：B08B11/02；该发明授权一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘是由钱诚;霍召军;黄典礼;彭竹云;刘川设计研发完成，并于2023-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘在说明书摘要公布了：本申请涉及一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，属于晶圆生产设备领域。本申请的装置在使用时，通过驱动装置向着支撑盘中心方向拨动所述驱动杆，使连接块、连杆向着支撑盘中心方向移动并压缩弹性件，连杆上的卡紧柱的顶部则向远离支撑盘中心方向动作，从而使所有卡紧柱形成的圆的直径增大，晶圆可以从顶部置入卡紧柱上，而后，撤销驱动装置对驱动杆的作用力，弹性件将连杆和卡紧柱恢复到原位置，从而卡紧晶圆。本发明的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘具有对晶圆的固定牢固的优点，减小晶圆旋转清洗时被甩飞损坏的风险。

本发明授权一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘在权利要求书中公布了：1.一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，包括： 盘体（1），所述盘体（1）中间具有中间孔（11），用于安装在转轴（13）上，以在转轴（13）的带动下进行转动，所述盘体（1）包括顶面（14）和安装在顶面（14）底部的底面（12），顶面（14）和底面（12）中间形成安装空间； 支撑杆（2），所述支撑杆（2）设置在盘体（1）顶部，用于支撑晶圆； 卡紧柱（3），为若干个，所述卡紧柱（3）包括底部（31），位于底部（31）上的中间段（32），位于顶端的顶段（33），所述顶段（33）设置有凹陷部，所述凹陷部用于卡住晶圆； 卡爪机构，所述卡爪机构包括驱动杆（41）、倾斜块（42）、连杆（43）、弹性件（44）、连接块（45）、限位块（46）和安装杆（47）； 所述连杆（43）的一端与连接块（45）连接，所述连杆（43）的另一端铰接地设置有安装杆（47），所述连接块（45）上设置有所述驱动杆（41），所述驱动杆（41）用于与驱动装置连接，用于沿轴向拉动驱动杆（41）； 所述倾斜块（42）设置在所述盘体（1）内，所述倾斜块（42）的一端与盘体（1）铰接，所述倾斜块（42）的另一端与连接块（45）铰接； 所述弹性件（44）倾斜抵靠住所述倾斜块（42），以提供与驱动装置拉动驱动杆（41）的拉力方向相反的作用力； 所述安装杆（47）上安装有卡紧柱（3）； 所述连杆（43）受所述限位块（46）限制而仅能沿所述连杆（43）的轴向移动； 所述连接块（45）为具有中空的回字形结构，所述倾斜块（42）设置在所述连接块（45）的内部； 所述卡紧柱（3）设置在盘体（1）上，能够摆动，所述卡紧柱（3）内部具有空腔（34），所述安装杆（47）伸入到空腔（34）内，所述安装杆（47）能够在空腔（34）内沿所述安装杆（47）的轴向自由移动； 所述盘体（1）上设置有安装孔（15），所述卡紧柱（3）设置在安装孔（15）内，所述安装孔（15）的开口处设置有封堵片。

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