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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种双向驱动F-P滤波器件结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117518453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311596448.X，技术领域涉及：G02B26/00；该发明授权一种双向驱动F-P滤波器件结构及其制备方法是由谭鑫;刘思琪;焦庆斌;王天钰;许亮;杨名宇;李宇航;李徽;张薇;张嘉航设计研发完成，并于2023-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双向驱动F-P滤波器件结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光谱技术领域，具体提供一种双向驱动F‑P滤波器件结构及其制备方法，包括：第一静态电极和第二静态电极，位于第一静态电极和第二静态电极之间的可动电极，可动电极和所述第一静态电极之间设有第一绝缘支撑件，可动电极和所述第二静态电极之间设有第二绝缘支撑件，可动电极上设有第一介质层反射镜，第二静态电极上还设有第二介质层反射镜，第一静态电极具有通光孔，通光孔与第一介质层反射镜、第二介质层反射镜共光轴，通过利用双向驱动结构能够实现双向驱动范围，提高了器件的稳定性和鲁棒性。

本发明授权一种双向驱动F-P滤波器件结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种双向驱动F-P滤波器件结构，其特征在于，包括：第一静态电极和第二静态电极，位于所述第一静态电极和所述第二静态电极之间的可动电极，所述可动电极和所述第一静态电极之间设有第一绝缘支撑件，所述可动电极和所述第二静态电极之间设有第二绝缘支撑件，所述可动电极上设有第一介质层反射镜，所述第二静态电极上还设有第二介质层反射镜，所述第一静态电极具有通光孔，所述通光孔与所述第一介质层反射镜、所述第二介质层反射镜共光轴； 工作状态下，对处于所述第一静态电极和所述第二静态电极两者交替施加高电势，对中间的所述可动电极施加低电势，由所述第一静态电极和所述第二静态电极分别与所述可动电极形成静电吸合效应，通过控制所述第一静态电极和所述第二静态电极的电压大小，改变施加到所述可动电极上的静电力，使得可动电极实现上下位移和往复运动，所述可动电极带动所述第一介质层反射镜位置移动使得所述第一介质层反射镜和所述第二介质层反射镜之间的距离发生改变，基于所述所述第一介质层反射镜和所述第二介质层反射镜之间的距离的改变调整出射光波长，完成动态滤波； 所述可动电极采用井字型结构，所述井字型结构包括边框、用于安装所述第一介质层反射镜的固定框和用于连接所述边框和所述固定框的多根悬臂，所述多根悬臂均布在所述固定框和所述边框之间； 所述第一介质层反射镜和所述第二介质层反射镜均采用DBR反射镜结构进行设计，经过TFCalc模型仿真软件进行仿真确定膜系结构为HL4H，其中H为高折射率材料五氧化二铌，L为低折射率材料二氧化硅，高折射率材料五氧化二铌与低折射率材料二氧化硅的光学厚度均为λ4。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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