中润新能源(徐州)有限公司张帅获国家专利权
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龙图腾网获悉中润新能源(徐州)有限公司申请的专利一种基于热量回收的扩散工艺硅片冷却系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116913817B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310950235.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种基于热量回收的扩散工艺硅片冷却系统是由张帅设计研发完成,并于2023-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于热量回收的扩散工艺硅片冷却系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于热量回收的扩散工艺硅片冷却系统,关于太阳能电池片生产技术领域,包括超纯水水箱、冷却柜、放置组件、风冷机构和水冷机构;超纯水水箱内部储存有超纯水;冷却柜前端设置有密封柜门,所述密封柜门用于对冷却柜进行封闭,所述扩散工艺硅片在冷却柜内部进行冷却;放置组件安装在冷却柜内部,所述放置组件用于承载装有硅片的石英舟;风冷机构包括抽风机、进风组件和送风组件,所述抽风机安装在冷却柜的上方。本发明通过在封闭的冷却柜内部对石英舟以及硅片进行冷却,不仅能够避免硅片冷却过程中受到污染,而且能够充分回收再利用热能,提高硅片生产良品率的同时实现能源的循环利用,节约能源。
本发明授权一种基于热量回收的扩散工艺硅片冷却系统在权利要求书中公布了:1.一种基于热量回收的扩散工艺硅片冷却系统,其特征在于,包括: 超纯水水箱,内部储存有超纯水; 冷却柜,前端设置有密封柜门,所述密封柜门用于对冷却柜进行封闭,所述扩散工艺硅片在冷却柜内部进行冷却; 放置组件,安装在冷却柜内部,所述放置组件用于承载装有硅片的石英舟; 风冷机构,包括抽风机、进风组件和送风组件,所述抽风机安装在冷却柜的上方,所述进风组件设置在冷却柜两侧的底部,通过从冷却柜的顶部抽风、底部进风能够对放置组件上的石英舟进行风冷,所述送风组件用于将风冷产生的热风导出; 风冷产生的热风经温度调节后直接用于烘干仓内部硅片的烘干; 水冷机构,包括水冷管路,所述水冷管路穿过放置组件,所述超纯水在水冷管路内部流动,所述水冷管路内部的超纯水能够与放置组件上的石英舟换热而被预热; 被预热的超纯水收集在储水箱内部,在储水箱内部将温度调节至50~70℃后直接用于清洗仓内部硅片的清洗; 通过回收利用排出的热风以及预热后的超纯水能够对硅片冷却产生的热量回收。
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